Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1060 #9287391 zu verkaufen

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CANON / ANELVA ILC 1060
Verkauft
ID: 9287391
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Sputtering system, 6" Etching chamber (3) Sputter (AL) chambers 1995 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1060 ist eine industrielle Sputteranlage zum Ätzen und Beschichten der Oberflächen verschiedener Materialien. Das Gerät unterstützt reaktives Ionenätzen (RIE) und Magnetronsputtern und arbeitet sowohl manuell als auch automatisiert. Das in sich geschlossene System umfasst eine Steuerung, eine Ätzkammer, eine Zielkammer und eine unabhängige entfernte Plasmaquelle. Der Regler ermöglicht eine präzise Steuerung und Überwachung verschiedener Parameter, einschließlich Druck, Durchflussraten, Temperatur, Strom, Spannung und Zielleistung. Die Ätzkammer hat ein maximales Innenvolumen von 290 Litern und enthält eine Turbo-Pumped Confined Space Unit (TCSU). Es ist mit einer zweistufigen mechanischen Spiralpumpe, einer turbomolekularen Pumpeinheit und einer Ionenstrahlquelle ausgestattet. Mit der turbomolekularen Pumpmaschine wird die Kammer evakuiert und der gewünschte Vakuumzustand erzeugt. Die Ionenstrahlquelle dient zur Erzeugung des gewünschten Ätzplasmas. Die Zielkammer unterstützt ein- oder mehrschichtiges Sputtern mit einer Zielflächenkapazität von bis zu 200 mm. Die Kammer ist mit einer Membranpumpe und einer leicht zu reinigenden Zielhalterung sowie einer einstellbaren Plasmascreening-Technologie zur Steuerung der Ionenenergie und -richtung ausgestattet. Die Kammer verfügt auch über eine Bordgassteuerung mit fünf separaten Gaseinlässen und automatisierter Ventilsteuerung. Die unabhängige entfernte Plasmaquelle des Werkzeugs ermöglicht das bipolare Ätzen und kann entweder auf eine mikrowellenangeregte oder auf eine gleichstromangeregte Konfiguration konfiguriert werden. Es ist mit einer Anschlussdose und einem Gas-Handling ausgestattet und ermöglicht eine präzise und wiederholbare Prozesssteuerung. CANON ILC 1060 hat eine Bewertung von 75 kW und unterstützt mehrere Konfigurationen, einschließlich planar, slot und crossfield. Sie eignet sich für Anwendungen in den Bereichen Forschung, Halbleiter und Großserienproduktion. Das Modell verfügt über eingebaute Sicherheitsfunktionen, Verriegelungen und kann in andere CANON- oder ANELVA-Systeme integriert werden.
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