Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1060SV #181556 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILC 1060SV ist eine multifunktionale Sputteranlage für eine Vielzahl von industriellen und Forschungsanwendungen. Sputtern ist eine Form der physikalischen Dampfabscheidung, die eine Vakuumkammer und ein ionisiertes Gas umfasst. Bei diesem Sputtersystem werden Partikel aus dem Zielmaterial durch ein elektrisches Feld beschleunigt und bombardieren ein Substrat, wodurch Material auf die Oberfläche des Substrats übertragen wird. Die CANON ILC 1060SV Einheit verfügt über mehrere Merkmale, die sie besonders für die Herstellung einheitlicher Filme sowohl aus elektrisch leitenden als auch aus dielektrischen Materialien geeignet machen. Die Maschine besteht aus einer Vakuumkammer, zwei Lastschlössern und einem Pumpwerkzeug. Die Kammer ist mit einem 10 kW Netzteil, einem High Power Target Asset und einem digitalen Feedback Monitor ausgestattet. Das Zielmodell besteht aus einer festen Quelle und einer rotierenden Quelle, um eine breite Abdeckung aller Winkel auf dem Substrat zu ermöglichen. Die Hochleistungsquelle ist in der Lage, hohe Leistungsausgänge zu erzeugen, was zu höheren Abscheideraten für einige Anwendungen führt. Die Pumpvorrichtung verwendet ein Paar turbomolekulare Pumpstufen und eine kryogene Pumpe, um ein Vakuum von 10-5 Torr zu erreichen. Auf diese Weise kann ein breites Spektrum an Substraten von Polymeren bis zu Metallen aufgesputtert werden. Die Doppellastschlösser schaffen ein Luftschleusensystem und ermöglichen ein schnelles Beladen und Wechseln von Substraten. Die ANELVA ILC 1060 SV Einheit ist für eine präzise Schichtbildung ausgelegt und mit fortschrittlichen Steuerparametern ausgestattet, um wiederholbare Schichten so dünn wie 10nm zu erreichen. Dies geschieht durch die Steuerung der Substrat-Ziel-Entfernung, Quell- und Zielleistung, Prozessgasdruck sowie Vorspannung und Strom. Besonderheit der Maschine ist, dass sie über eine schnelle Prozessschnittstelle verfügt, die einen einfachen Übergang zwischen Parametern zwischen Prozessen ermöglicht. Die schnelle Prozessoberfläche und die präzise Schichtbildung machen das Werkzeug ideal für einheitliche Folien und komplexe Schichten. ILC 1060 SV ist eine vielseitige Sputteranlage, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Mit seinen fortschrittlichen Steuerparametern, der präzisen Schichtbildung und den fortschrittlichen Merkmalen eignet es sich hervorragend für Anwendungen, die einheitliche Folien und komplexe Schichten erfordern. Das Modell kann verwendet werden, um Filme sowohl aus elektrisch leitfähigen als auch aus nicht leitfähigen Materialien herzustellen, und es wurde entwickelt, um aufgrund seiner hohen Leistungsfähigkeit hohe Abscheidungsraten zu erzielen. Die Luftschleuse und die schnelle Prozessschnittstelle ermöglichen schnelle Wechsel zwischen Substraten und Prozessen und eignen sich somit für Anwendungen mit hohem Durchsatz. Insgesamt ist dieses System ein ausgezeichnetes Werkzeug für eine Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen.