Gebraucht CPA / KURDEX 9900 #9053543 zu verkaufen

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Hersteller
CPA / KURDEX
Modell
9900
ID: 9053543
PVD Inline Sputtering system Single linear chamber configuration (4) DC magnetron sputtering stations Pallet and chain wafer transfer (2) Heated loadlocks capable of handling 8 plus pallets, capable of handling up to 8” Cryo pump: CTI 10 Not included: Cryopump compressor MDX-10 DC Power supply.
CPA/KURDEX 9900 ist eine hochpräzise, multifunktionale Sputterausrüstung, die für präzise und zuverlässige Prozesse zur Dünnschichtabscheidung auf einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Es enthält ein fortschrittliches Quellenkonzept für das Sputtern mit einer kathodischen Lichtbogenabscheidungsquelle, das eine Reihe von leistungsstarken, kundenspezifischen Dünnschichtabscheidungsfunktionen ermöglicht. Das System verfügt über eine Vielzahl von Prozess- und Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich einer Auswahl an Programmierprotokollen und einer integrierten Steuereinheit. Die Maschine besteht aus drei Hauptkomponenten: der Sputterkammer, der Kathodenbogenquelle und dem Schutzgehäuse. Die Sputterkammer, die rechnergesteuerte Ventile für die Gasfüllung verwendet, hat bei Bedarf einen extrem niedrigen Hintergrunddruck. Es ist auch mit einem modernen Vakuumwerkzeug ausgestattet, das zur Aufrechterhaltung eines stabilen Vakuumniveaus innerhalb der Reaktionskammer ausgelegt ist. Die Kammer enthält auch einstellbare Vorrichtungen für die Montage von Substraten, Abdeckungen für Plasmaeinschluss und gleichmäßige Plasmaverteilung, gleichmäßige Gasflussverteilung und eine Vielzahl weiterer Merkmale, die für präzise und zuverlässige Dünnschichtabscheidungsprozesse ausgelegt sind. Die Kathodenbogenquelle ist eine hochmoderne Ionenquelle, die aus einer rotierenden Anode, einer rotierenden Kathode und einer geschlossenen Geometrie besteht. Die Quelle erzeugt einen konzentrierten, feinen Ionenstrahl, der genau zum Werkstück geführt werden kann, um einen gleichmäßigen und konsistenten Abscheidungsfluss zu liefern. Eine integrierte Steuerung, integriert in die Reaktionskammer, bietet eine ganze Reihe von Parametern, um die Reaktionstemperatur, den Prozessdruck, die Sauerstoffkonzentration, die Vorspannung und mehr zu steuern. Die Quelle hat auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen einschließlich Leistungsgrenzen und ein Sicherheitsabschaltungsmodell. Das Schutzgehäuse besteht aus einer isolierten Kammer zum Schutz vor Stromschlägen und zum Schutz vor von der Quelle erzeugter Strahlung. Eine Vielzahl von Optionen, darunter ein Quarzfenster und eine Vielzahl von Schilden, ist auch verfügbar, um Betriebssicherheit zu gewährleisten. Insgesamt ist CPA 9900 eine fortschrittliche Sputterausrüstung, die für präzise und zuverlässige Dünnschichtabscheidungsprozesse entwickelt wurde. Es ist ein zuverlässiges und sicheres System für einfache Bedienung und Wartung konzipiert und ist eine gute Wahl für alle industriellen Anwendungen, die qualitativ hochwertige Dünnschichtabscheidungsprozesse erfordern.
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