Gebraucht CPA / KURDEX 9900 #9115251 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9115251
Sputtering system
DRESSLER Cesar 1kW cryo pump
(2) Torr 8
Torr 10
Process parameter control ranges:
Sputtering pressure: 5 - 30 Microns
Conveyor speed: 0.1 - 80 cm.min.
D.C Deposition power level: 100 - 9000 watts
R.F Deposition power level: 50 - 3000 watts
R.F Sputter clean power level: 15 - 1000 watts
Substrate heating: Ambient to 350°C
Uniformity performance:
Etch: ±10%
Deposition:
R.F Magnetron ±10%
D.C Magnetron ±5%
Vacuum performance:
Ultimate pressure
2 x 10(-7) in 16 hrs
5 x 10(-7) in 30 minutes
Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes
Vacuum tight: Less than 5 x 10(-10) standard atmosphere cc helium/second
Utility requirements:
4 Wires delta or 5 wires wye
Water temperature: 50 - 75°F (10-24°C)
Air: 70 to 100 PSIG (6 to 8 ATU) filtered, 1 CFM
Sputtering gas: Typically 5 PSIG (1.3 ATU) argon
Power: 208 V, 100 A. 3 phase, 50/60 Hz.
CPA/KURDEX 9900 Sputtergeräte sind hochmoderne High-Tech-Geräte für die Dünnschichtabscheidung. Es ist ein fortschrittliches, Multi-Target, Multi-Gun, schlüsselfertiges System für Sputterbeschichtung, chemische Dampfabscheidung oder für Spezialanwendungen wie Galvanisieren. CPA 9900 eignet sich sowohl für Forschungs- als auch für Produktionsanwendungen. Die Einheit enthält mehrere Targets, die die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien ermöglichen, einschließlich Metalle, Oxide, Wolframsilizide und Nitride. Die Geschützkonfiguration unterstützt bis zu sechs magnetisch schwebende oder acht Quarzkristallsensoren. KURDEX 9900 Maschine verfügt über digitale Leistungsregelung und Feedback-Steuerungen, die überlegene Ziel-Gleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und niedrigen Substrat-Durchbruch ermöglichen. Die automatisierte Prozesssteuerung umfasst bis zu 256 Punkte programmierte Größenrampe/Timing für Substratvorspannung, Materialabgabe, Prozessatmosphäre und Vakuumleistung. Die Prozessdrücke liegen zwischen 0,64 und 10-8 Torr. Substratheizung für verbesserte Keimbildung und Haftung kann manuell betrieben oder auf Temperaturen von bis zu 800 ° C programmiert werden. 9900 bietet eine erweiterte Schnittstellenfähigkeit, die Ethernet, RS-232, GPIB und IEEE-488 Schnittstellen umfasst. Diese sind über eine PC-Schnittstelle für Prozesssteuerung, Datenprotokollierung, Rezeptspeicherung und Fernbedienung zugänglich. Zusätzlich bietet das Werkzeug einen aktiven Spül- und Rezirkulationskrümmer zur Sauerstoffentfernung. CPA/KURDEX 9900 Sputteranlage ist ein vielseitiges, zuverlässiges, benutzerfreundliches Modell, das hervorragende Dünnschicht-Beschichtungslösungen bietet. Die All-in-One-Plattform wurde für Benutzerfreundlichkeit, Zuverlässigkeit und Durchsatz entwickelt. Es erfordert minimale Bedienerschulung und bietet die Möglichkeiten, eine breite Palette von Materialien auf verschiedenen Substraten zu beschichten. Die Sputterausrüstung ist ideal für eine Vielzahl von industriellen, medizinischen, elektronischen und Verteidigungsanwendungen.
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