Gebraucht CUSTOM CUSTOM #9058888 zu verkaufen

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Hersteller
CUSTOM
Modell
CUSTOM
ID: 9058888
Automated sputter cluster tool, 6"-8" Load lock chamber (1) Sputter chamber Robotics: for loading single or multiple 6" and 8" Si wafer/glass substrates Custom design with operation simulating single-chamber Endura 5500 for metal deposition Sputter chamber can be equipped by various sputter sources including AMAT standard 8" magnetrons or Quantum 8" sources Adjustable target to wafer distance Used for metal deposition Gas: Ar (oxygen or nitrogen can be added).
CUSTOM CUSTOM ist eine Sputterausrüstung, die zum Ablegen dünner Filme aus verschiedenen Materialien auf Substraten entwickelt wurde. Es wird typischerweise in Industrien wie Mikroelektronik, Halbleiter und Photovoltaik eingesetzt. Das System besteht aus einer Basiseinheit und einer Kammer, in der der Sputtervorgang selbst stattfindet. Der erste Teil des Verfahrens ist das Einbringen eines Ausgangsmaterials in die Einheit, beispielsweise eines Metalls oder einer Legierung. Dieses Material gelangt dann durch eine Elektronenkanone in die Zerstäubungskammer, die dann Elektronen auf das Ausgangsmaterial abgibt. Die Elektronen brechen kleine Stücke des Materials ab, die dann als dünner Film auf das Substrat abgeschieden werden. Um die Gleichmäßigkeit des Verfahrens zu gewährleisten, ist die Kammer der CUSTOM-Sputtermaschine als kreisförmige Vakuumkammer ausgebildet, die in vier Abschnitte unterteilt ist. Das Ausgangsmaterial wird in jeden der vier Abschnitte gelegt, und die Elektronen werden aus dem Zentrum der Kammer erzeugt. Diese Anordnung von Elektronen und Ausgangsmaterial ermöglicht eine optimale Ionisation des Ausgangsmaterials und erzeugt gleichmäßige, konsistente Filme auf dem Substrat. Nach Beendigung des Sputtervorgangs wird die Kammer evakuiert und mit einem neuen Ausgangsmaterial nachgeladen. Je nach Anwendung kann die Kammer unterschiedliche Bedingungen für eine optimale Leistung erfordern. Beispielsweise muss das Werkzeug bei der Herstellung von Folien für Halbleiter unter Hochvakuumbedingungen arbeiten, um sicherzustellen, dass alle Prozesse frei von Verunreinigungen sind. CUSTOM CUSTOM Sputteranlage ist in der Lage, eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien zu produzieren, so dass es eine ideale Wahl für eine breite Palette von Anwendungen. Es ist auch für seine Qualität und Konsistenz bekannt, da es für hochpräzise Sputterprozesse konzipiert ist. Die Fähigkeit des Modells, einheitliche Folien ohne Kontamination oder Defekt herzustellen, macht es zu einer guten Wahl für die Dünnschichtabscheidung in Branchen, in denen die Genauigkeit von größter Bedeutung ist.
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