Gebraucht CVC 601 #9046395 zu verkaufen

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Hersteller
CVC
Modell
601
ID: 9046395
Sputtering system with control upgrade 1985-1987 vintage.
CVC 601 ist eine Sputterausrüstung, die entwickelt wurde, um verschiedene Dünnschichtmaterialien auf einem Substrat abzulegen. Es verfügt über eine einzigartige Struktur, in der das Abscheideziel und das Probensubstrat auf getrennten Drehscheiben montiert sind - jedes auf eine Vielzahl von Winkeln einstellbar. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von dünnen Schichten auf entweder gekrümmten oder gekrümmten Oberflächen und ist somit eine attraktive Wahl für viele Vakuumabscheidungsanwendungen. Das System besteht aus einer Prozesskammer, Hochvakuum-Rotationspumpe und Drehgelenken, die die vakuumdichten Verbindungen von der Kammer zu den Sputterquellen herstellen. Das Targetmaterial ist magnetisch an dem Zielständer angebracht, das auf unterschiedliche Winkel einstellbar ist, so dass das Target zur gleichmäßigen Abscheidung von Folien gedreht werden kann. Das Probensubstrat wird dann auf einen Substrathalter montiert, der mit dem Probendrehtisch verbunden ist. Ein verstellbarer Drehteller ermöglicht das Drehen der Probe zur gleichmäßigen und gleichmäßigen Abscheidung der Folien auch auf gekrümmten Oberflächen. Im Betrieb pumpt die Einheit die Prozesskammer nach unten, bis ein vorbestimmtes Vakuumniveau erreicht ist. Die Sputterquellen werden dann mit Strom versorgt und auf das Substrat gesputtert, wodurch der gewünschte Dünnfilm entsteht. Zur Steuerung der Dicke und Homogenität der abgeschiedenen Folie können Zielwinkel und Drehscheibengeschwindigkeit eingestellt werden. 601 verfügt auch über eine breite Palette von Steuerungs- und Überwachungsgeräten. Dazu gehören ein Probendruckmonitor zur Überwachung des Prozesskammerdrucks und ein Emissionsmonitor zur Überwachung der Kohlenstoffbelastung im Sputterprozess. Weitere Merkmale sind Überstromschutz, ein digitales Auslesen von Pumpendruck und Filmdicke, ein programmierbarer Timer und manuelle Übersteuerung. Die CVC 601-Maschine wurde für den Einsatz in vielen Dünnschichtabscheidungsanwendungen wie der Herstellung von optischen Filtern, Halbleiterbauelementen, dielektrischen Beschichtungen und diamantartigen Kohlenstoffbeschichtungen entwickelt. Sein einzigartiges Design ermöglicht es, eine gleichmäßige, kontrollierte Abscheidung von Dünnschichtmaterialien zu ermöglichen, ohne dass eine komplexe Nachbearbeitung erforderlich ist. Durch zuverlässige Ergebnisse und Effizienz in einem kostengünstigen Design ist es eine attraktive Wahl in der Dünnschichtabscheidungsindustrie.
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