Gebraucht CVC 611 #9160360 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9160360
Sputtering systems
BROOKS VT-5 Robot
(2) RF Targets, 8"
(2) MKS MFCs
CTI CT-8F Cryogenic pump
Techware computer
MKS Baratron
All rough / Vent valves
Computer controller
Rotational table
Robot wafer loading
Wafer cassette in vacuum load lock.
CVC 611 ist eine Multi-Target-Sputterausrüstung, die dünne Filme auf großen Flächen mit maximaler Geschwindigkeit und Effizienz aufbringt. Es verwendet Magnetron-Sputtertechnologie und computergesteuerte Substrathalter, um qualitativ hochwertige Dünnschichteigenschaften zu erzeugen. 611 Sputtersystem besteht aus mehreren Komponenten, darunter ein Zielrad, Frequenzumrichter, Magnetron, Substrathalter, Prozesskammer, Substrat Abstandhalterplatten, Wasserkühlplatte und Regler. Das Zielrad enthält sechs Ziele mit jeweils einem eigenen Frequenzumrichter, der mehrere Sputterkonfigurationen ermöglicht. Die Frequenzumrichter ermöglichen die Feinabstimmung der Leistung beim Sputtern. Das Magnetron ist für die Erzeugung von hochdichtem Plasma ausgelegt und bietet eine gleichmäßige Beschichtung der Substrate. Der Substrathalter verfügt über eingebaute Sensoren zur Temperatur- und Gasdruckregelung. Die Prozesskammer ist mit feuerfesten Materialien zur Sputtersteuerung und ionisiertem Gas zur Plasmakontrolle ausgestattet. Es verfügt auch über eine Evakuierungseinheit mit Vakuumpumpen, um die Sputterrate zu erhöhen. Die Substratabstandhalterplatten sorgen für einen gleichmäßigen Substratabstand und eine gleichmäßige Positionierung innerhalb der Kammer. Die Kühlplatte verwendet Wasser, um die zerstäubten Substrate abzukühlen und die Kammertemperatur zu halten. Die Controller am CVC 611 ermöglichen eine präzise Energieanwendung und Zielzeit. 611 Sputtermaschine ist sehr vielseitig und kann eine Vielzahl von dünnen Filmen auf großen Flächen ablegen. Es bietet ausgezeichnete Abdeckung, Präzision, Geschwindigkeit und Effizienz. Es wird häufig in fortgeschrittenen Photolithographie, Halbleiterbauelementherstellung, Datenspeicherung und Biowissenschaften Industrien verwendet. CVC 611 ist ein zuverlässiges und robustes Werkzeug, das eine konstante und langlebige Leistung bietet.
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