Gebraucht CVC SC 4000 #9106193 zu verkaufen

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Hersteller
CVC
Modell
SC 4000
ID: 9106193
Wafergröße: 8"
Sputtering system, 8" Diameter water cooled stainless steel chamber with several 2.75", 21" Conflat flanges for feed throughs, 6" Cryo pump (2) View ports Single target in the base plate, 8" (3) Sputter sources, 2" CTI-8 Cryopump base pressure: 5 x 10-8 MKS Capacitance manometer (4) Channel mass flow controllers (3) Gases: Ar, O2, N2 RF Generator: OEM 1250, 1250 Watt unit.
CVC SC 4000 Sputterausrüstung ist ein leistungsstarkes Vakuumabscheidungswerkzeug für großflächige Beschichtungsanwendungen. Das System verfügt über ein fortschrittliches Drei-Kammer-Design, das hohe Durchsatzabscheidungsprozesse und eine gleichmäßige Beschichtung auf einem großen Substrat ermöglicht. Es verwendet eine proprietäre Magnetron-Sputterkathode, um einheitliche Beschichtungsraten und eine präzise Schichtdickensteuerung für hochwertige Oberflächenveredelungen bereitzustellen. SC 4000 wurde entwickelt, um einen stabilen Abscheidungsprozess über einen weiten Bereich von Temperaturen, Drücken und Abmessungen bereitzustellen. Die beiden Teilkammern des CVC SC 4000 sind für eine hohe Abscheiderate ausgelegt. Die Hauptkammer ist mit einer Viersäulenstufe mit einem Be-/Entladeroboter zum einfachen Schalten von Substraten ausgestattet. Diese Kammer kann bis zu vier Substratscheibengrößen von bis zu 203 mm Durchmesser aufnehmen. In der Hauptkammer werden die Substrate vom Roboter gehalten und dann in den Bearbeitungsbereich transportiert, wo eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung erfolgen kann. Die sekundäre, „saubere“ Kammer ist so ausgelegt, dass eine optimale Qualität der aufzubringenden Folien gewährleistet ist. Es umfasst eine statische Ladungsneutralisationsvorrichtung, reaktive Gaszuführsysteme und eine kontrollierte Umgebung für stabiles Filmwachstum. Diese Kammer verfügt auch über ein abnehmbares Glockenglas für einen einfachen Zugang zu Substraten innerhalb der Einheit. SC 4000 Sputtermaschine bietet auch eine Reihe von Beschichtungen für spezielle Anwendungen. Es kann Oxid-, Nitrid-, Kohlenstoff- und Metallbeschichtungen mit einer Vielzahl von Techniken produzieren. Dazu gehören konventionelle Sputterverfahren sowie plasmaverstärkte chemische Dampfabscheidung oder PECVD. CVC SC 4000 Sputterwerkzeug ist ideal für die höchste Qualität Beschichtung Anwendungen. Mit seinem fortschrittlichen Drei-Kammer-Design und der vollständigen Palette der verfügbaren Techniken kann SC 4000 effiziente Abscheidungsprozesse für großflächige Substrate bereitstellen, was zu einheitlichen und hochwertigen Fertigprodukten führt.
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