Gebraucht LEYBOLD / BALZERS ZH 620 Corona #9236460 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9236460
Wafergröße: 5"
Weinlese: 2000
Al Fill sputter deposition system, 5"
(2) Targets
Palette: (8) Wafernests, 5"
Material: Aluminium Oxide
Simultaneous RF and DC sputtering
Bias option: Up to 300V deposition of deep flanks
Rotating magnet array option
RF Generators:
HUTTINGER PFG 2500
(2) HUTTINGER PFG 5000
Pinnacle DC power supply
BROOKS Mag-7 Robot (P/N: 201600-11)
BROOKS Marathon Express MX400 Wafer handler
BROOKS VCE6 Vacuum cassette elevator load lock
Upper matchbox: UNAXIS MBN-03-0100-0410
Lower matchbox: UNAXIS MBN-04-0100-0420
Table lift motors: DUNKERMOTOREN RE30-3-512 + TI.5V
Table rotate motors: DUNKERMOTOREN RE30-3-512 + TI.5V
2000 vintage.
LEYBOLD/BALZERS ZH 620 Corona ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung, die entwickelt wurde, um dünne Filme aus verschiedenen Materialien über eine Reihe von kathodischen Bögen auf einem Substrat abzulegen. Es ist ein sehr vielseitiges Werkzeug, das in der Halbleiterverarbeitung und -entwicklung verwendet wird und die Herstellung von Nanostrukturen für verschiedene Anwendungen ermöglicht. LEYBOLD ZH 620 Corona umfasst eine hochauflösende Zielkammer, eine kompakte Magnetronanordnung, einen Dreh-/Kippdeckel und einen effizienten Kühlmechanismus. Die hochauflösende Zielkammer gewährleistet eine präzise Bearbeitung von Nanostrukturen, während die Magnetronanordnung die Veränderung des Abscheideprozesses durch Variation der Anzahl und Position von kathodischen Bögen ermöglicht. Der Dreh- und Kippdeckel erweitert den Bereich der freiliegenden Winkel. BALZERS ZH 620 Corona verfügt über eine leistungsstarke Turbomolekularpumpe, um eine kontinuierliche Versorgung mit unterbrechungsfreien Prozessgasen zu gewährleisten. Dieses System ist auch in der Lage, eine breite Palette von kundenspezifischen Formen zu produzieren, die die Qualität der zerstäubten Materialien kontrollieren. ZH 620 Corona kann entweder manuell oder halbautomatisch betrieben werden. Dies ermöglicht eine anwendergesteuerte Bedienung, die eine präzise Steuerung der Parameter des Abscheideprozesses gewährleistet. Dies bietet auch die Möglichkeit, Echtzeitanalysen der hergestellten Foliengranulometrie durchzuführen. LEYBOLD/BALZERS ZH 620 Corona ist dank seines optimierten einfallenden Zielstroms für seine kathodischen Bögen außerordentlich effizient und somit eine ideale Option zum Sputtern dünner Filme. Darüber hinaus eignet sich diese Maschine für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich der Gewinnung transparenter leitender Oxide (TCOs) und zur Herstellung beschichteter Implantate. LEYBOLD ZH 620 Corona ist komplett mit Sicherheitsmaßnahmen ausgestattet, wie einer Verriegelungseinheit mit Deckelverschluss und automatischer Düsenabschaltung. Es ist auch möglich, die Maschinenparameter wie Prozesstemperatur, Druck und Temperatur der Pumpkammer zu überwachen und einzustellen. Abschließend ist BALZERS ZH 620 Corona ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug zum Sputtern von dünnen Schichten und Nanostrukturen. Ausgestattet mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen ermöglicht diese Maschine den präzisen Abscheideprozess, um die höchste Qualität der produzierten Filamente zu gewährleisten, was zu Kosteneinsparungen und verbesserter Produktivität führt.
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