Gebraucht LEYBOLD / BPS ZH 620 Corona #196509 zu verkaufen

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LEYBOLD / BPS ZH 620 Corona
Verkauft
ID: 196509
Weinlese: 1996
Sputter tool, 4" Includes: Main body: R-Metal Corona RF Generator tower 1 RF Generator tower 2 Automatic controller Chiller Compressor PC / Monitor Spare parts Manual (2) Leybold pumps Heater 1996 vintage.
Der LABOLDLEYBOLD/BPS ZH 620 Corona ist eine Sputterausrüstung für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen. Es nutzt Gleichstrom- und Hochfrequenzleistung, um effizientes Sputtern in einer Vielzahl von Substraten und Prozessen zu ermöglichen. Es ist für Hochgeschwindigkeitssputtern von Einzel- und Mehrfachschichten mit Gleichmäßigkeit im gesamten Substrat konzipiert. Das System umfasst eine Ionenquelle, ein planares Magnetron und eine fernsteuerbare, mehrachsige Substratstufe. Die Ionenquelle erzeugt ein hochgleichmäßiges Vorreinigungsplasma, das zur Entfernung von nativen Oxiden und Verunreinigungen von Oberflächen vor der Beschichtung verwendet wird. Die emittierten Ionen werden durch einen Satz fokussierter Kollektorplatten auf die Substratoberfläche geführt. Die Intensitätsquelle ist in einem benutzerfreundlichen modularen Aufbau mit verstellbaren Kammerwänden und einer abnehmbaren, höhenverstellbaren Schieneneinheit enthalten. Dies ermöglicht einen einfachen Zugriff und eine Rekonfiguration der Maschine für verschiedene Prozesse. Die planare Magnetron-Sputterquelle kann bis zu neun Magnetron-Targets mit jeweils bis zu drei Trägern aufnehmen. Dies ermöglicht eine breite Palette von Abscheidungen, einschließlich Hochgeschwindigkeitssputtern, Stufenbeschichten und Mehrschichtabscheidung. Mit werkzeugfreien Spannmechanismen lassen sich die Ziele schnell und einfach wechseln. Durch den Multi-Mode-Betrieb können die Abscheideparameter exakt auf jedes Substrat und jeden Abscheideprozess zugeschnitten werden. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine fernsteuerbare, mehrachsige Substratbearbeitungsstufe. Dies ermöglicht eine präzise Bewegung und Positionierung des Substrats, so dass ganzflächig gleichmäßige Ablagerungen erzielt werden können. Die Substratstufe umfasst auch unabhängige Vorspann- und Neigungssteuerungen, um eine optimale Sputterabdeckung zu ermöglichen. Dieses fortschrittliche Asset ist ideal für Forschung, Prozessentwicklung und große Mengen an Sputteranwendungen. Es erfüllt eine Vielzahl von Sputteranforderungen und bietet zuverlässige und konstante Leistung. Dank seiner einfachen Zugänglichkeit und flexiblen Konfiguration eignet es sich für eine Vielzahl von Prozessen. Der LABOLDBPS ZH 620 Corona ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Sputtermodell, das Ihnen dabei hilft, hervorragende Ergebnisse zu erzielen.
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