Gebraucht LEYBOLD HERAEUS Z550 #9213240 zu verkaufen

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Hersteller
LEYBOLD
Modell
HERAEUS Z550
ID: 9213240
Sputtering system (4) Magnetron cathodes D = 150mm Sputter down: Cathodes with D = 75mm D = 100mm possible with adapter flange Heating cathode position: Magnetron cathode HF Etching Manual adaptation network: HF Rotary shutter Plant and process visualization: Operating terminal, 9" Pumping system: With D40B / TMP 450.
LEYBOLD HERAEUS Z550 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage für den Einsatz in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Dünnschichtschichten. Es verfügt über ein fortschrittliches Steuerungssystem, das eine präzise Steuerung bietet, mit Optionen für pulsierendes DC-Sputtern, Multi-Target-Sputtern und HF- oder DC-Ionenplattieren. LEYBOLD Z 550 verfügt über eine 5-Zonen-Zielbaugruppe mit hoher Gleichmäßigkeit, die eine Reihe von Magnetfeldkonfigurationen enthält, um zerstäubtes Material besser zu führen. Diese Einheit bietet auch optionales Rotationssputtern, um eine hohe Gleichmäßigkeit zu erzeugen, auch auf großen gekrümmten Flächen. HERAEUS Z550 ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, darunter Oxide, Nitride und Metalle. Es hat eine schnelle Sputterrate, mit einem Bereich zwischen 0,1 und 500 Nanometern pro Sekunde je nach Auftragsanforderungen. Seine computergesteuerten Prozessparameter können schnell angepasst werden, während automatische Prozessleitsysteme einen zuverlässigen Betrieb gewährleisten. Z 550 ist sehr zuverlässig, mit niedrigen Dispersionen und Defektraten. Es verfügt über eine große Bearbeitungskammer mit einer hocheffizienten Vakuumleitung, wodurch Abscheideprozesse unter optimalen Bedingungen abgeschlossen werden können. Es ist auch mit einer Multi-Port-Maschine ausgestattet, um mehrere Prozesse gleichzeitig abzuschließen. Mit seiner robusten Architektur kann LEYBOLD HERAEUS Z550 problemlos bis zu zehn Hochleistungsziele bewältigen. In Sachen Sicherheit verfügt LEYBOLD Z 550 über ein Regelwerkzeug, um die Substrattemperaturen unter den maximal zulässigen Werten zu halten. Es enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine dreifache optische Überwachung, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Es ist auch auf die Einhaltung der neuesten Sicherheitsstandards der Industrie ausgelegt. Insgesamt ist HERAEUS Z550 ein leistungsstarkes und zuverlässiges Sputtermodell, das für eine hochwertige Dünnschichtabscheidung in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es verfügt über eine Zielbaugruppe mit hoher Gleichmäßigkeit, computergesteuerte Prozessparameter und niedrige Fehlerraten. Es enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, die einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ermöglichen.
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