Gebraucht METRON Eclipse #9077820 zu verkaufen

METRON Eclipse ist eine Sputterausrüstung, die hohe Abscheidungsraten mit außergewöhnlicher Kontrolle und Gleichmäßigkeit liefert. Das System ist eine hocheffiziente PVD-Schichtsputtermaschine, die eine einzige Hauptkammer mit einzelnen rotierenden Plattformen verwendet, so dass der Benutzer mehrere Wafer gleichzeitig sputtern kann. Das Gerät verfügt über einen einzigartigen modularen Aufbau, so dass es einfach angepasst und für eine Vielzahl von Anwendungen konfiguriert werden kann. Eclipse ist in der Lage, hohe Abscheidungsraten bei relativ niedrigem Druck zu liefern, ohne auf Qualität oder Gleichmäßigkeit zu verzichten. METRON Eclipse basiert auf dem Design eines kathodischen Lichtbogens PVD, mit dem Zusatz einer rotierenden Maschine, um die Schichtabscheidung auf mehreren Wafern gleichzeitig durchführen zu können. Das Tool ist mit einem automatisierten Laden/Entladen-Asset ausgestattet, mit dem Benutzer Wafer schnell und einfach von einem Ort zum anderen verschieben können. Eclipse verwendet eine Gleichstrom- und variable Stromversorgung, um eine Vielzahl von Materialien mit verschiedenen Zusammensetzungen, Größen und Formen zu sputtern. METRON Eclipse eignet sich gut für Schichten aus Kupfer, Titan, Nickel, Kobalt und Aluminium, da diese Materialien die größte Zerstäubungsbeständigkeit aufweisen. Das Modell verwendet eine hocheffiziente, gleichmäßige Abscheidetechnik, um eine gleichmäßige Schichtabdeckung über die gesamte Oberfläche des Wafers zu gewährleisten. Eclipse unterstützt eine breite Palette von Abscheidungstechnologien wie Ionenstrahl, Rotation und Hochfrequenzplasma. Eine integrierte Kammerheiz-/Kühleinrichtung sorgt dafür, dass die Zerstäubungstemperatur korrekt gehalten wird und die Einleitung eines Zerstäubungsgases möglich ist. Das System ist mit einer integrierten Kühleinheit mit einem einstellbaren Temperaturbereich von 0-50 ° C ausgestattet, so dass der Anwender seine Kühlmitteltemperatur auf einem idealen Niveau halten kann. Der Druck der Kammer kann von 0,1 mbar bis 6 mbar eingestellt werden und der Benutzer hat die Möglichkeit, den Strom, die Spannung, den Gasdruck und die Durchflussrate leicht zu steuern. METRON Eclipse verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche zum Einrichten und Überwachen des Sputterprozesses. Die Maschine bietet eine hohe Abscheideraten-Kompatibilität mit einer 1: 1-Seitenverhältnis-Sputterrate von 250 nm/min und einem 2: 1-Seitenverhältnis von 155 nm/min. Die Hinterlegungsrate für ein Seitenverhältnis von 4:1 beträgt 105 nm/min und für ein Seitenverhältnis von 5:1 48 nm/min. Eclipse bietet dem Anwender die höchste Kontrolle in Bezug auf Plasmastabilität und Gleichmäßigkeit und bietet enge Regelbereiche und Gleichmäßigkeit für kontinuierliche Sputterprozesse. Darüber hinaus wurde das Werkzeug entwickelt, um bessere Ergebnisse als DC-Sputtertechniken zu erzielen, was eine erhöhte Filmdichte und eine bessere Haftung ergibt. Insgesamt ist METRON Eclipse ein ideales Sputtermittel für die Herstellung von Schichten mit überlegener Gleichmäßigkeit und Abscheidungseigenschaften. Es ist eine effiziente, sichere und zuverlässige Maschine, die einfach einzurichten und zu bedienen ist, ideal für eine Vielzahl von Sputteranwendungen. Die hohe Abscheidungsrate und Gleichmäßigkeit des Modells macht es für kleine Produktions- und Forschungslaboranwendungen geeignet.