Gebraucht MRC 662 #9265336 zu verkaufen

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MRC 662
Verkauft
Hersteller
MRC
Modell
662
ID: 9265336
Wafergröße: 6"
Sputtering systems, 6".
MRC 662 ist ein leistungsstarkes und flexibles Sputterabscheidungssystem für eine breite Palette von Forschungs- und Industrieanwendungen. Es ist eine kompakte Vakuum-Prozesskammer für ultrahochpräzise Dünnschicht und Metallbeschichtung. Die Kammer wird in einem niedrigen Druckzustand gehalten, um eine Oxidation der abgeschiedenen Materialien während des Sputtervorgangs zu vermeiden. Das System verwendet eine bogenförmige Kathode, die leistungsfähiges Ionenbeschuss mit gleichmäßiger Sputterabscheidung kombiniert. Dies ermöglicht eine hohe Abscheiderate bei ausgezeichneter Gleichmäßigkeit der Beschichtungen. Die Kammer ist eine Mehrlampe, alle Quarzkonstruktion mit einem kreisförmigen Muster von 8 HF-Antennen. Es bietet Prozessgleichmäßigkeit mit einem verstellbaren Prozessgehäuse, das auf maximale Flexibilität ausgelegt ist. Die einstellbaren Hohlraumgebläse sorgen für geringe Sekundärelektronenemission und Abscheidehomogenität. Die Kammer verfügt außerdem über einen integrierten beweglichen Zielpositionierer mit unabhängigem Hub und Rotation. Dies ermöglicht die Rezeptsteuerung verschiedener Ziele, ohne Vakuum zu brechen. Weitere Merkmale sind ein integriertes Mess- und Diagnosemodul zur Überwachung der Prozessparameter und ein vollautomatischer Roboterauswerfer zur Probenübertragung. 662 beinhaltet auch einen Zugangsanschluss zur internen sowie externen Elektrodenherstellung und bietet hervorragende Lasermarkierungsmöglichkeiten. Es ist auch mit vielen Gasreglern für eine breite Palette von Beschichtungen und Oberflächenbehandlungen kompatibel. Insgesamt ist das automatisierte Sputterabscheidungssystem MRC 662 eine optimale Wahl für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es bietet leistungsstarke, aber hochpräzise Dünnschicht- und Metallbeschichtungen für Forschung und industrielle Anwendungen. Zu den leistungsstarken Eigenschaften gehören eine einstellbare Prozesskammer für Gleichmäßigkeit, ein beweglicher Zielpositionierer, ein integriertes Diagnosemodul und ein Roboterauswerfer für die Probenübertragung. Seine Flexibilität und Bequemlichkeit machen es zu einer idealen Wahl für alle Forscher oder Hersteller, die ihren Beschichtungsprozess verbessern möchten.
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