Gebraucht MRC 8667-A #9060240 zu verkaufen

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MRC 8667-A
Verkauft
Hersteller
MRC
Modell
8667-A
ID: 9060240
Weinlese: 1981
Sputtering system, parts system 1981 vintage.
MRC 8667-A ist eine hochmoderne Sputteranlage (SPS), die für die Abscheidung verschiedener Materialien entwickelt wurde. Das System verfügt über Eigenschaften wie niedrige Temperatur, niedrige Spannung und niedrige Betriebskosten, so dass eine höhere Kontrolle und höhere Ausbeute an gewünschter Materialabscheidung möglich ist. Es ist mit zwei Magnetronen ausgestattet, so dass es sowohl planare als auch nicht-planare Substrate verarbeiten kann. Die beiden unabhängigen Magnetrons werden unabhängig oder in Kombination betrieben und ermöglichen eine Vielzahl von Beschichtungsstrukturen und -verfahren. Die Einheit besteht aus zwei Sätzen unabhängiger Netzteile, einer Vakuumkammer und einer Basisstation. Es ist für einfache Wartung und Bedienung konzipiert. Die Basisstation bietet eine breite Palette von Software- und Hardwarekomponenten zur Steuerung der Maschine und zur Überwachung von Abscheideprozessen. Die Netzteile bieten eine präzise Steuerung der Substratabscheidungsparameter, einschließlich Strom, Spannung, Substrattemperatur und Substratabschirmung. Das Hochspannungs- und Niederspannungs-Stromversorgungswerkzeug ermöglicht eine unabhängige Steuerung jedes Magnetrons. Die Vakuumkammer der Anlage besteht aus zwei parallelen Prozessoren, einem Hochfrequenzgenerator (HFG) und einem Hochleistungsgenerator (HPG). Diese beiden Generatoren ermöglichen schnellere und effizientere Abscheideprozesse. Das HFG erzeugt kurzzeitig hochfrequente Bursts, während das HPG niederfrequente Dauerspannungen erzeugt. Beide erzeugen Plasma in der Vakuumkammer bei niedrigen Drücken, um eine bessere Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit zu erreichen. Zur Abscheidung verfügt 8667-A über ein fortschrittliches Vakuummodell. Sputterziele sind an einer rotierenden Plattform angebracht, wo ihr Winkel und ihre Position für eine optimale Materialversorgung eingestellt werden können. Zusätzlich enthält das DC-Modell einen rotierenden Substrathalter. Dies ermöglicht eine Optimierung der Materialzufuhr zu einer Substratoberfläche und erhöht die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Abscheidungsprozesses. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Funktionen wie ein Auto-Kalibriersystem, das die Prozessbedingungen überwacht und zur Einstellung der Foliendicke, Leitfähigkeit und Beanspruchung innerhalb der abgeschiedenen Folien verwendet werden kann. Dies trägt dazu bei, die höchste Qualität von Filmen durch direkte oder Fernüberwachung zu gewährleisten. Das Gerät verfügt auch über eine Zielkartiermaschine, die hilft, eine gleichmäßige Schichtdicke und Verteilung auf großen Substraten zu gewährleisten. Das Werkzeug ist ideal für Anwendungen mit niedriger Temperatur und niedriger Spannung und ermöglicht die Durchführung mehrerer Prozesse in einem Lauf. Die integrierte Steuerung ermöglicht eine Echtzeit-Modellsteuerung und ermöglicht den Betrieb von Geräten im manuellen oder automatisierten Modus. Es ermöglicht auch eine effiziente Datenspeicherung und -abfrage. Insgesamt ist MRC 8667-A eine leistungsstarke und vielseitige Sputterausrüstung. Es verfügt über erweiterte Funktionen, die die Qualität und Wiederholbarkeit von Ablagerungen erhöhen und eine größere Kontrolle über den Abscheidungsprozess bieten. Mit seiner einfachen Bedienung und niedrigen Betriebskosten ist das System eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Abscheidebedürfnissen.
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