Gebraucht MRC 903 series #9009095 zu verkaufen

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Hersteller
MRC
Modell
903 series
ID: 9009095
Sputtering system For RF/DC sputtering RF etch Substrate heating Not included: Cryo's.
Die MRC 903-Serie ist eine hochpräzise Vakuum-Prozessausrüstung, die die Sputterabscheidungstechnik verwendet. Es wurde entwickelt, um eine fortschrittliche gleichmäßige Abdeckung von dünnen Filmen über eine Vielzahl von Substraten bereitzustellen. MRC 903 nutzt das Magnetron Sputtering Process (MSP), ein hocheffizientes, niederdruckkohlenstoffbasiertes Abscheideverfahren. Dieses Verfahren ist in der Lage, eine sehr gleichmäßige Abdeckung von dünnen Schichten auf verschiedenen Substraten zu erzielen. Das System verfügt über eine robuste Reihe von Funktionen wie eine Niederdruckkammer, bis zu drei Kathoden, eine Lastschloßkammer, erweiterte Prozesssteuerung und NIST-Dickenmessungen. Das Gerät erzeugt eine Vakuumumgebung, indem es die Kammer mit dem turbogepumpten Diffusionstyp evakuiert. Dieses Vakuum ermöglicht den effizienten und gleichmäßigen Sputterprozess. Die Kammer trägt bis zu drei Kathoden, mit denen Zielmaterial auf das Substrat gesputtert wird. Die Abstimmung der Kathoden erfolgt über die Einstellung des aufgebrachten Stroms und/oder der Position einer Kreuzmagnetanordnung zur optimierten Beschichtungsgleichförmigkeit. Diese Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen Prozesssteuerungswerkzeug ausgestattet, das die Optimierung der Prozessparameter ermöglicht. Die Anlage ermöglicht auch die Verwendung einer zweistufigen Lastschloßkammer. Die Lastschloßkammer dient dazu, das Substrat in die Kammer einzuführen, ohne es der Umgebung auszusetzen. Im Inneren der Schleusenkammer wird das Substrat durch das Vakuum aufrechterhalten, um die Exposition umgebender Umweltgase zu minimieren. Dies hilft, die Reinheit der Substrate zu gewährleisten und liefert zuverlässigere Ergebnisse. Sobald die gewünschten dünnen Folien gewünscht sind, werden sie mit einem NIST-Dickenmessmodell auf Genauigkeit gemessen. Diese Einrichtung bestimmt genau die exakte Dicke der abzuscheidenden Folien. Mit der Baureihe 903 kann eine gleichmäßige Verteilung von Sputtermaterial für komplexe Geometrien erreicht werden, was es zu einer idealen Wahl für präzise Dünnschichtbeschichtungen macht. Insgesamt ist die MRC 903-Serie ein leistungsstarkes Sputtersystem, das in der Lage ist, gleichmäßige Dünnschichtbeschichtungen mit hoher Genauigkeit über eine Vielzahl von Substraten bereitzustellen. Durch den Einsatz des Magnetron-Sputterprozesses wird ein niederdruck-, effizienter und konsistenter Prozess ermöglicht. Darüber hinaus bieten die fortschrittliche Prozesssteuerung, NIST-rückverfolgbare Dickenmessungen und die zweistufige Lastverriegelungskammer eine präzise Abscheidung von dünnen Filmen.
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