Gebraucht MRC / MAT-VAC 943 #9173799 zu verkaufen

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Hersteller
MRC / MAT-VAC
Modell
943
ID: 9173799
Sputtering system.
MRC/MAT-VAC 943 ist eine vielseitige Vakuumsputteranlage, die von Taga Manufacturing Company für den Einsatz in Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, eine breite Palette von Materialeigenschaften auf Substraten wie Glas, Kunststoff, Silizium und Keramik mit hoher Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Die Einheit besteht aus zwei Hauptkomponenten - der Hauptkammer, in der die Kathode untergebracht ist, und dem Vakuumgehäuse, das zur Durchführung des Sputterprozesses verwendet wird. Die Hauptkammer wird entweder mit einer Gleichstrom- oder Hochfrequenzstromquelle gespeist. Anode und Kathode sind in der Kammer angeschlossen und das Substrat wird dazwischen gelegt. Die Anode ist das Zielmaterial und die Kathode zieht das zerstäubte Material an. Der Druck in der Hauptkammer wird aufrechterhalten, indem mit Hilfe von Pumpen ein Vakuum erzeugt wird. Zur Steuerung der anderen Parameter in der Kammer, wie Temperatur, Sauerstoff und Argon, ist ebenfalls ein Gaseinlaß vorhanden. Die Temperaturen in der Kammer können von 5 ° C bis 1000 ° C reichen und der Druck ist von 0,5 mbar bis 1000 mbar einstellbar. Die Leistungsaufnahme der Maschine ist von 0,01 A - 100 A einstellbar und ihre Frequenz reicht von 1 kHz - 50 kHz. Es ist schnell genug, um die gewünschte Sputterabscheidungsrate zu erreichen. Das Werkzeug ist mit Sicherheitsmerkmalen wie Sicherheitsverriegelungssystemen und Gasalarmen mit Touchpad-Eingängen und detaillierten Steuerungen ausgestattet. Es verfügt auch über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche und integrierte Datenlogging-Software, mit der Benutzer Echtzeit-Überwachungs- und benutzerdefinierte Berichtsfunktionen ausführen können. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem integrierten Vakuum-Modell entworfen, mit Turbo-Molekül- und Diffusionspumpen hohe ultimative Drücke zu halten. Das Gerät ist außerdem mit einem Temperaturregelsystem ausgestattet, das es dem Benutzer ermöglicht, während der Abscheidung ein konstantes Temperaturprofil für die gesamte Substratoberfläche aufrechtzuerhalten. Abschließend ist MRC 943 eine robuste und zuverlässige Sputtereinheit mit einer Vielzahl von Parametern, die nahezu allen Dünnschichtabscheidungsanforderungen angepasst werden können. Es ist gut ausgestattet, um fortschrittliche technologische Fortschritte wie Hochfrequenzquellen und schnelle High-End-Kühlsysteme zu integrieren. Diese Maschine ist ideal für jede Anwendung, die eine hohe Genauigkeit und wiederholbare Dünnschichtabscheidung mit hoher Gleichmäßigkeit erfordert.
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