Gebraucht MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Mark II #193359 zu verkaufen

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Mark II Sputtering Equipment verwendet Inertgas, um Material von einem festen Substrat in einer Ultrahochvakuumumgebung zu entfernen. Dieses System ist für die Bildung von dünnen Schichten auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Halbleiterscheiben und dünnen Schichten, mikroelektronischen Bauelementen, thermoelektrischen Bauelementen und Solarzellen, ausgelegt. MRC Eclipse Mark II-Einheit verwendet eine doppelte Magnetron-Sputterquelle, die aus zwei Kathoden besteht, die getrennt in einer trapezförmigen Kammer montiert sind. Die Kammer arbeitet in einer Vakuumumgebung mit Hintergrunddrücken von etwa 10−7 Torr. Beide Magnetrons werden vom Vorspannungsmodul mit Strom versorgt, das bis zu 1kV DC und bis zu 4.0A DC-Strom liefern kann. Das Zielmaterial wird typischerweise entweder mit Ar + oder N2 + Ionenbeschuss abgeleitet. Sputtern ist das Verfahren, bei dem Material aus dem Substrat entfernt wird, was durch Bombardieren des Materials mit Ionen erfolgt, die mit dem Beginn des Plasmas implantiert werden. Die Plasmaintensität ist durch Variation der Substratvorspannung einstellbar, die die Verteilung der Ionen über die Substratoberfläche steuert. Um eine Ionenschädigung der Substrate zu minimieren, werden auf beiden Seiten der Substrate eine Reihe von Magneten positioniert, was zu einer homogenen Plasmaverteilung in Richtung des Substrats führt. TEL Eclipse Mark II Maschine enthält auch eine leistungsfähige Steuerungssoftware, die es den Benutzern ermöglicht, Parameter wie Abscheidetemperatur, Druck, HF-Leistung, Substratvorspannung und Kammerzeit zu steuern. Es verfügt auch über ein Datenprotokollierungstool, mit dem Benutzer ihre Daten speichern und aus der Ferne darauf zugreifen können. Die Anlage verfügt auch über eine Vielzahl von Abscheidungsmaterialien für Dünnschichtabscheidungen, einschließlich hochreiner Metalle, Oxide, Nitride und Isolatoren. Die Materialien gelten als „gebrauchsfertig“ und können leicht durch andere Materialien in derselben Zielkammer ersetzt werden. TOKYO ELECTRON Eclipse Mark II Modell eignet sich hervorragend für die Materialforschung, Dünnschichtabscheidung, Probenreinigung und Halbleiterbauelementherstellung. Die Ausrüstung ist sehr zuverlässig und bietet eine ausgezeichnete Benutzeroberfläche und ist somit eine ideale Plattform für die Forschung.