Gebraucht OERLIKON / BALZERS 750 #9095626 zu verkaufen

OERLIKON/BALZERS 750 Sputtergeräte sind eine leistungsstarke, robuste und zuverlässige Sputterkammer, die höchsten Anforderungen an Wafer-für-Wafer-Gleichmäßigkeit, Schrittabdeckung, Kantenausschluss und ultimative Prozesskontrolle gerecht wird. Das System wird von einer Hochleistungs-Magnetronquelle angetrieben, die in der Lage ist, gleichmäßige dünne Filme auf einer Reihe von Substraten bis zu 7 "abzuscheiden. Das Hauptmerkmal, das BALZERS 750 von anderen Sputtersystemen unterscheidet, ist seine patentierte Etchback-Konfiguration. Diese Konstruktion ermöglicht einen tiefen Quelleintritt mit präziser Kantenausschlusskontrolle. Der konstante Durchsatz des Plasmas ermöglicht einen stetigen Sputterbetrieb und eine homogene Filmabscheidung auf allen Teilen des Wafers. Die Kammerkapazität von OERLIKON 750 und seine hohen Pumpgeschwindigkeiten machen es auch für eine Vielzahl von Anwendungsprozessen geeignet, einschließlich Eloxierung, Ionenimplantation und Entunreinigungsprozesse. Mit der Option von mehr als einer gleichzeitigen Quelle haben Benutzer Flexibilität beim Sputtern verschiedener Materialien auf mehreren Zielen. 750 ist auch mit der Multitarget-Sputtertechnologie des Unternehmens ausgestattet, die eine beispiellose Kombination von Nanotopographie, Zusammensetzung und Morphologie innerhalb derselben Sputterabscheidung ermöglicht. Diese patentierte Einheit ermöglicht auch die Optimierung der Barriereschichtfertigung, wie Haftvermittlungsschichten und Diffusionsbarrieren. Die benutzerfreundliche Überwachungssoftwaremaschine von OERLIKON/BALZERS 750 erleichtert die Prozesssteuerung sowie die Vor- und Rückkopplung auf Basis der Echtzeitdaten. Dadurch können Prozessabläufe erstellt und angepasst werden, um die besten Ergebnisse für jede Anwendung zu erzielen. Das Werkzeug ist auch mit extrem genauen Kalibriersystemen ausgestattet, die Betriebsparameter während der Abscheidung überwachen, messen und melden. Schließlich ermöglicht die patentierte Temperieranlage von BALZERS 750 Prozesse mit sehr präzisen thermischen Rampeneigenschaften, die für einige Anwendungsprozesse wesentlich sind. Dadurch ist das Modell außerordentlich zuverlässig und hochpräzise, geeignet für die härtesten und anspruchsvollsten Herstellerbedürfnisse.