Gebraucht PERKIN ELMER 2400-8L #9193484 zu verkaufen

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Hersteller
PERKIN ELMER
Modell
2400-8L
ID: 9193484
Sputtering system (3) Cathodes: 8" Sputter configuration: RF/DC Load-lock Turbo pumped Table spacing: Adjustable cathode-substrate Substrate pallet diameter maximum: 6.5".
PERKIN ELMER 2400-8L ist eine Sputteranlage mit drei Sputterquellen, die eine effiziente und gleichmäßige Abscheidung dünner Schichten ermöglicht. Es ist speziell für die Materialforschung entwickelt, die die Abscheidung von dünnen Schichten aus verschiedenen Materialien für die Probenanalyse oder Herstellung erfordert. Das System eignet sich gut zur Abscheidung von Schichten für Glühentladungs-optische Emissionsspektrometrie (GDOES) -Anwendungen und heterogene Substrate. Das Gerät verfügt über 8-Zoll-Sputterkammern mit HF-Netzteilen, 13,56 MHz HF-passenden Netzwerken und drei Sputterquellen. Die HF-Netzteile sind so konzipiert, dass sie bis zu 1 kW Leistung liefern, während die HF-Anpassungsnetze eine genaue Einstellung der Spannung und des Stroms zwischen 5 und 12 kV ermöglichen. Die Bewegungssysteme sind auf stabilen Strukturen zur genauen und wiederholbaren Positionierung des Substrats mit einem Probenhohlrauminnendurchmesser von 8,3 Zoll montiert. Die drei Standard-Sputterquellen sind für unterschiedliche Materialkombinationen und mehrere Magnetronkonfigurationen ausgelegt. Jede Quelle verfügt über einen 1,675-Zoll-Düsendurchmesser für eine hervorragende Steuerung des Sputterbauteils und eine 6-Zoll-Durchmesser-Edelstahl-Quellkammer für reduzierten Abrieb von fokussierten Ionenstrahl (FIB) -gefüllten Substraten. Das aus den Sputterquellen erzeugte Magnetfeld ist einstellbar und ermöglicht einzigartige Konstruktionsmerkmale, die die Sputtergleichförmigkeit und Abscheiderate verbessern. Zur präzisen Steuerung des Sputtervorgangs ist ferner ein dreikanaliger verstellbarer Timer vorgesehen. All diese Funktionen bieten eine herausragende Flexibilität und präzise Steuerung für Abscheide- und reproduzierbare Prozesse. Die Maschine ist in einem gemeinsamen Stahlgehäuse untergebracht und für eine optimale Zugänglichkeit zu allen Komponenten ausgelegt. Die Frontplatte verfügt über eine voll ausgestattete Steuer-/Anzeigeeinheit, die einfachen Zugriff auf Prozessparameter und Datenerfassung ermöglicht. Eine einfache und einfache grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht es Benutzern, das Tool schnell und einfach einzurichten und zu überwachen. Abschließend ist 2400-8L eine ideale Sputteranlage für die Materialforschung, die eine Abscheidung dünner Schichten sowohl für die Probenanalyse als auch für die Herstellung erfordert. Dieses Modell ist mit drei Sputterquellen und einstellbaren Timern ausgestattet, die benutzerfreundlich sind und eine hervorragende Flexibilität und Präzisionskontrolle für die Abscheidung und reproduzierbare Prozesse bieten.
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