Gebraucht PERKIN ELMER 2400 #9022812 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9022812
Sputtering system
CTI-8 cryo pump
Power supply in separate cabinet
Veeco RG1000 pressure gauge
MKS Baratron
(4) Targets
Welch mechanical pump
Argon and Nitrogen are plumbed in
Flows are controlled by MFCs
Power is RF only
Sputtered: silicon.
PERKIN ELMER 2400 Sputtersystem ist ein weltweit führendes Sputterwerkzeug, das präzise Abscheidungsschichten für dünne Filme, Nanostrukturen und Mehrschichtstapel auf Substraten bereitstellt. Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, von der Präzisionsbeschichtung bis zur Herstellung von opto-elektronischen und MEMS-basierten Geräten. Mit seinem robusten Design mit hohem Durchsatz ist es in der Lage, gleichmäßiges Sputtern bei hohen Abscheideraten mit Genauigkeit und Präzision zu erreichen. Die Maschine ist mit einer Lastverriegelungskammer mit variabler Fläche ausgestattet, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm aufnehmen kann, sowie mit mehreren Planetenzielen, die in der Lage sind, mehrere Metalle und eine breite Palette von Legierungen zu zerstäuben. Die Ziele sind auf einer patentierten sputterlosen Gleichstromquelle montiert, die gleichzeitig bis zu sechs Ziele mit unabhängigen HF-Quellen antreiben kann. Die mit den HF-Generatoren gekoppelte Hochspannungs-Gleichspannungsquelle ermöglicht großflächig hochgleichmäßige Beschichtungen sowie überlegene Abscheideraten bei Solltemperaturen bis 400 ° C. 2400 verfügt über eine temperaturabhängige Prozesssteuerungsfähigkeit, die die Abscheidung von Nanostrukturen, Dünnschichtstapeln und anderen materialbasierten Geräten mit konsistenter Qualität und Wiederholbarkeit ermöglicht. Temperaturgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit werden mit einem Pyrometer mit einer Auflösung von ± 0,1 ° C überwacht. Die fortschrittliche HF-Prozessüberwachung ermöglicht eine Echtzeit-Rückkopplung der Substrattemperaturen, um optimale Ergebnisse bei der Substratreinigung und -abscheidung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das System über eine senkrechte Sputtertechnologie mit bodenstehenden Endeffektoren, die eine 3D-Beschichtung ermöglicht. Es ist mit einem integrierten programmierbaren Impulsgenerator ausgestattet, mit dem Pulsfrequenz- und Breitenprofile für optimale Beschichtungsergebnisse variiert werden können. Ein in der Kammer gehostetes Rasterelektronenmikroskop kann zur Vor-Ort-Überwachung des Abscheidungsprozesses verwendet werden. PERKIN ELMER 2400 wurde entwickelt, um bis zu neun verschiedene Bajonettpedale unterzubringen, die mit verschiedenen Werkzeugen ausgestattet sind, die für das Be- und Entladen von Proben, die Handhabung von Substraten und die Ablagerung benötigt werden. Das System verfügt zudem über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche und bietet eine komplette CAM-Steuerung (Computer Aided Manufacturing) mit voller Softwarekompatibilität. 2400 ist eine ideale Lösung für Hochleistungs-Sputteranwendungen mit überlegener Präzision, Zuverlässigkeit und Durchsatz.
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