Gebraucht PERKIN ELMER 4400 #9210436 zu verkaufen

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Hersteller
PERKIN ELMER
Modell
4400
ID: 9210436
Sputtering system Includes: Delta backing plate Insulator Dark space shield & magnet Load locked system: (3) Target heads capable: Holding (3) delta DC magneron assemblies Gas system: MKS MFC With MKS 250 controller SST Gas line with VCR connections BARATRON With MKS-270 controller G.P. 303 Dual ion guage controller HENRY RF Generator 1 kW AE MDX-5 5000w DC Power supply Process chamber CT-8 Cryo & SC Compressor.
PERKIN ELMER 4400 Sputterausrüstung ist ein Hochleistungsinstrument zur Abscheidung von dünnen Schichten aus metallischen, Verbund- und Hybridverbindungen auf Substraten. Dieses Sputtersystem ist ein leistungsfähiges Werkzeug für industrielle, wissenschaftliche und akademische Forschung. 4400 verwendet Magnetron- und ionenstrahlunterstütztes Magnetronsputtern. Das Magnetronsputtern erzeugt eine homogene Dünnschichtabscheidung und wird für basische Materialabscheidungsanwendungen verwendet. Die ionenstrahlunterstützte Magnetron-Sputtertechnik ermöglicht eine höhere Filmhaftung, wodurch eine hochwertige Folie entsteht. Darüber hinaus eignet sich die ionenstrahlunterstützte Magnetronsputtertechnik ideal zum Abscheiden konformer Filme, die hohe Seitenverhältnisse aufweisen können. Die Stromquelle des Geräts ist in der Lage, Sputtern mit fünf Zielen mit präziser Stromsteuerung und ausgezeichneter Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Das 4-Taschen-Ladeblockierwerkzeug der Maschine erhöht die Abscheideeffizienz und den Durchsatz. Das Ladegerät sorgt für die Minimierung von Luftverunreinigungen und ermöglicht einen stabilen Bodendruck. Die Software verfügt über eine erweiterte Benutzeroberfläche, die eine einfache Kontrolle der Prozessparameter ermöglicht. Ein erweitertes Datenprotokollmodell protokolliert während des Betriebs Benutzersatzparameter und beinhaltet auch die Echtzeit-Abscheidungsratensteuerung. Ebenfalls im Lieferumfang enthalten ist ein Druckmonitor zur Überwachung des Umgebungsdrucks. PERKIN ELMER 4400 hat einen Kammerdurchmesser von 830mm mit einer Kammerhöhe von 368mm. Die Kammer ist für eine hohe Gleichmäßigkeit und Verträglichkeit mit mehreren Materialien ausgelegt. Das System nutzt ein einzigartiges Sockeldesign, das die Prozesserwärmung reduziert und die Kommunikation zwischen Wafer und Kammer verbessert. Die Einheit umfasst auch eine fortschrittliche Pumpmaschine, die aus zwei Stufen besteht, die beide entwickelt sind, um Werkzeugübergänge zu reduzieren und Prozessverschmutzung zu verringern. Die Erststufenturbinenpumpen verwenden doppelt stufenweise Dichtungen, um eine hohe Reinheit der Kammer zu gewährleisten. Die Kryopumpen der zweiten Stufe frieren alle verbleibenden Verunreinigungen ein und machen sie inert. 4400 Sputtermittel sind eine ideale Wahl für die industrielle Dünnschichtabscheidung. Die Kombination aus Technologien und Modellverbesserungen sorgt für hochwertige, konforme Folien mit überlegener Haftung und hervorragender Wiederholbarkeit. Dieses Gerät bietet Forschern eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, Dünnschichttechnologien zu erforschen und zu entwickeln.
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