Gebraucht TRIKON Sigma FxP #9253626 zu verkaufen

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Hersteller
TRIKON
Modell
Sigma FxP
ID: 9253626
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Metal deposition systems Platen HSE MK2, 8" (P/N: TR-133072/B) TI-Heater assy platen, 8" (P/N: 188855) No Pumps / Chiller Configuration: Hot sputter etch chamber: Station 2 (DepE-HSE) Station 0: BROOKS M800 Station 1: BROOKS VCE Station 2: Hot sputter etch (Rack) Station 3: Hot sputter etch (Rack) Station 4: Deposition (Rack) TTN Station 5: Deposition (Rack) TTN Station 6: Deposition (Rack) ALU Station 8: BROOKS VCE Station 9: BROOKS Inliner Station 10: BROOKS Top cooler Station 11: BROOKS Buffer (2) Load locks: Station 1: VCEA Station 8: VCEB (3) Deposition chambers: Station 3: (DepC- HU platen aluminium) Station 4: (DepB - HiFill TTN) Station 5: (DepA - HiFill TTN) Pre heat chamber: Station 7 Orienter: Station 9 (In front of VCEA) Top cooler for cooling wafers: Station 10 (In front of VCEB) LEYBOLD CoolVac 1500 O-Ring sealed Transport chamber DC Power supplies for single and double rack Turbo controller Main computer Main AC RF / DC Power supplies Chamber AC control Temperature set point: 20°C Resistivity set point: > 50 kΩ Recirculating flow: 20 gpm Recirculating pressure: 22 psi BROOKS MAG7 Robot included Process modules: DepA DepB DepC and DepE 2001 vintage.
TRIKON Sigma FxP ist ein Ätzer und Ascher, der zur präzisen Steuerung von Plasmaätz- und Ascheprozessen entwickelt wurde. Es verwendet eine voll integrierte Ausrüstung von der Ätzung bis zur Beschichtung, um ein leistungsfähiges Werkzeug für industrielle sowie Forschungs-Ätzer und Ascher-Anwendungen zur Verfügung zu stellen. Das System kann für verschiedene Prozesse wie reaktives Ionenätzen (RIE), Mikrowellen, reaktives Sputtern und andere Ätz- und Ascheprozesse eingesetzt werden. Es besteht aus mehreren Komponenten wie einer Vakuumkammer, einem Mikrowellengenerator, einem Roboterarbeitsplatz, einem Plasmagenerator und einer Sputterquelle. Das Gerät ist vollautomatisiert und ermöglicht es Benutzern, optimierte Prozessrezepte für verschiedene Ätz- und Aschanwendungen zu erstellen. Sigma FxP arbeitet mit einer Kombination von Mikrowellen und Radiofrequenzen, um ein Plasma aus der Reaktionskammer zu erzeugen. Dieses Plasma bietet eine hochreaktive Umgebung, ideal für Ätz- und Ascheprozesse. Die RIE-Kammer enthält ein Quarzrohr, ein Streumedium, eine Primärelektrode und einen gefährlichen Gasabsorber. Die Mikrowellen werden von einem Magnetron zugeführt und übertragen Energie in die Reaktionskammer. Diese Energie wird verwendet, um Plasma im Inneren des Quarzrohrs zu erzeugen. Das Gas innerhalb der Kammer wird unter Druck gesetzt, um die idealen Ätz- und Aschebedingungen zu erreichen. TRIKON Sigma FxP Maschine enthält auch eine Roboter-Workstation zur Optimierung der verschiedenen Ätz- und Ascheprozesse. So können Anwender die automatisierten Prozesse auf wiederholbare Ergebnisse programmieren. Zusätzlich weist dieses Werkzeug eine automatische Gasströmungssteuerung zur Steuerung des Gasstroms zur Reaktionskammer auf. Insgesamt ist das Sigma FxP-Modell ein effektives Werkzeug für Ätz- und Ascheprozesse, das sowohl in der Forschung als auch in der Industrie eingesetzt wird. Sie liefert eine hohe Präzision der Ätz- und Ascheprozesse und damit optimierte Ergebnisse. Es ermöglicht Anwendern die Optimierung von Ätz- und Ascheprozessen durch vollautomatisierte Ausrüstung und automatisierte Prozessprogrammierung. Darüber hinaus verfügt dieses System über eine leistungsstarke Gasströmungssteuereinheit, die zur Bereitstellung einer ätz- und aschefördernden Umgebung beiträgt.
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