Benutzt ULVAC Ceraus ZX-1000 #195210 zu verkaufen

ID#: 195210

Hersteller:

ULVAC

Jahrgang:

2004

Wafer Größe:

8"

Ausstattungsmerkmale:

Sputtering system, 8" Process: 8" metal sputtering Type: 7 bay (7 module attachable) Structure: RF Process module + DC Process (3) Module Heat treatment TM (7 Angle) (2) L/L (2) Control rack
Features: Target changeable Module changeable Parts list: (3) TMP Shimadzu 1002 LM (3) Controller EI-1002MA (3) TMP Shimadzu 202 LM (3) Controller EI-202MA (3) DC Power Kyosan, 1000V, 50A (4) Heater Power Hercules, 100V, 25A (2) UPS Upaco7 Robot module PC rack Compressor: HE C30ZR Cable and dry pump missing 2004 vintage.
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