Gebraucht ULVAC Ceraus ZX-1000 #9028395 zu verkaufen

ULVAC Ceraus ZX-1000 ist eine Mehrzweck-Vakuumsputterausrüstung mit hohem Durchsatz für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es ist ideal für die Abscheidung von Oxid, Nitriden und dünnen Halbleiterfilmen wie Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Titannitrid und Titanoxid. Das System verfügt über eine große 4-Zoll-Waferkapazität, bis zu drei Sputterquellen und eine Hochleistungs-HF-Disk-Sputterpistole für harte Beschichtungsanwendungen. Das Gerät kommt auch mit einem 10-Megawatt-HF-Generator für Hochleistungsabscheidung. Herzstück der ULVAC CERAUS ZX 1000 ist die vielseitige Sputterabscheidekammer. Die Kammer ist aus Edelstahl gefertigt und hat ein Innenvolumen von 50 Litern. Es hat auch eine Hochvakuumpumpenmaschine und eine Tragkammer mit Verschlusstüren, die einen schnellen Austausch von Substraten ermöglicht. Ergänzt wird die Kammer durch eine Magnetronsputterpistole und eine Ionenquelle zur ionenunterstützten Abscheidung. Die Hochleistungs-HF-Scheibensputterpistole des Werkzeugs ist für harte Beschichtungsanwendungen enthalten. Es hat eine maximale Leistungsabgabe von 1.2kW und kann bis zu 600A Strom liefern. Die Pistole ist auf einem Arbeitsarm montiert, der separat verstellbar ist und eine präzise Einstellung der Mittelkoordinaten des Ziels ermöglicht. Die Pistole kann bei Druck so niedrig wie 0.005Pa arbeiten und hat einen einstellbaren Zielwinkel von 0-360 °, um die spezifischen Anforderungen des Benutzers zu erfüllen. Ceraus ZX-1000 ist mit einem hochpräzisen instrumentellen Messgerät für alle Parameter der Sputterabscheidung ausgestattet. Das Modell enthält einen Präzisionsmesskristall, der Leistungsdichte, Abscheidegeschwindigkeit und Einfallswinkel misst. Der Datenerfassungsprozess wird computergesteuert und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Prozessparameter. Das Gerät ist mit einem Mehrbenutzer-Bedienfeld mit vier Sprachoptionen installiert, das eine gleichzeitige Echtzeitüberwachung und Datenerfassung durch mehrere Benutzer ermöglicht. Das Antriebssystem verfügt außerdem über einen 16-Bit-Mikroprozessor, der eine präzise Steuerung der Abscheidegeschwindigkeit ermöglicht. Das Gerät ist auch kompatibel mit einer Reihe von Plattformen, wie PC und EPICS, um eine einfache Integration in bestehende Softwareumgebungen zu ermöglichen. Alles in allem ist CERAUS ZX 1000 eine hervorragende Sputtermaschine, die sich perfekt für Prozesse eignet, die von der präzisen Dünnschichtabscheidung bis zu harten Beschichtungsanwendungen reichen. Es bietet überlegene Leistung, ausgezeichnete Prozessgenauigkeit und ein attraktives Preis-Leistungs-Verhältnis.