Gebraucht ULVAC Entron T5 #9020575 zu verkaufen

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ULVAC Entron T5
Verkauft
Hersteller
ULVAC
Modell
Entron T5
ID: 9020575
Wafergröße: 12"
Sputtering system, 12".
ULVAC Entron T5 ist eine Sputteranlage des japanischen Herstellers ULVAC. Es handelt sich um ein kompaktes Spin-On-System zur Beschichtung großer Substrate mit Dünnschichtmaterialien. Entron T5 arbeitet mit dem Sputterverfahren, bei dem Zielatome auf das Substrat geschossen werden, um dünne Filmschichten zu erzeugen. ULVAC Entron T5 ist mit einem Massenstromregler und einem parabolförmigen einebigen Magnetron-Target ausgestattet. Diese Konfiguration bietet einen effizienten, hochdurchsatzreichen Abscheidungsprozess. Das Gerät enthält auch ein Netzteil mit einer maximalen Leistung von 5000 W, um die maximale Filmqualität und Abscheiderate zu gewährleisten. Entron T5 ist auch in der Lage, die Temperatur innerhalb der Abscheidekammer fein zu steuern. Dies wird durch eine Zwangsluftkühlung und durch um die Kammerwand eingebettete elektrische Heizungen erreicht. Dies ermöglicht eine präzise Temperaturregelung für Reproduzierbarkeit und Qualitätssicherung. ULVAC Entron T5 verfügt auch über eine Sputterprozess-Überwachungsmaschine, die den Vakuumdruck, das Leistungsniveau und die Filmdicke jederzeit überwacht. Dies ermöglicht eine einfache Überwachung des Abscheideprozesses. Es ist ferner mit einer Gaseinspritzeinheit ausgestattet, die die kontrollierte Einleitung von Reaktivgasen in die Abscheidekammer ermöglicht. Darüber hinaus bietet Entron T5 eine breite Palette von Sputterzielen und ist damit eine ideale Wahl für verschiedene Materialabscheidungsanforderungen. Es eignet sich zur Abscheidung von Metallen, Legierungen und dielektrischen Materialien. Darüber hinaus kann die große Kammer dieses Sputterwerkzeugs Substrate bis zu 800mm × 1000mm aufnehmen. Um höchste Qualität zu gewährleisten, hat ULVAC höchste Präzisionsstandards in den Herstellungsprozess integriert. Das Magnetfeld wird stabilisiert und mit einer stabilen automatischen Abstimmschaltung erzeugt, während die Ultratiefvakuumprozesse mit einer erweiterten ULVAC-Software überwacht und stabilisiert werden. Insgesamt ist ULVAC Entron T5 eine kompakte, leistungsstarke und kostengünstige Anlage, die eine effiziente und präzise Dünnschichtbeschichtung bietet. Seine Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
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