Gebraucht ULVAC MCH-4500 #58270 zu verkaufen

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Hersteller
ULVAC
Modell
MCH-4500
ID: 58270
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Sputtering systems, 6", system operation before de-installed, stored in a cleanroom, can inspect, as is, 1994 vintage.
ULVAC MCH-4500 ist eine vielseitige Sputterausrüstung, die hochwertige Dünnschichtabscheidefähigkeiten für eine Vielzahl von Materialien bietet. Das System enthält drei Sputterziele mit der Option, jedes der Ziele unabhängig zu drehen. Dadurch kann der Anwender effektiv Co-Sputtern mit zwei verschiedenen Materialien durchführen. Die Sputterleistung kann für jedes Ziel unabhängig von 0 - 2000W eingestellt werden, was den Einsatz einer Vielzahl von Arbeitsgasen ermöglicht. MCH-4500 unterstützt auch Vorsputtern sowie kontinuierliches Ionenstrahlbombardement mit einem maximalen Ionenstrom von 600mA. ULVAC MCH-4500 hat eine effektive Zielfläche von 450mm x 350mm und ermöglicht die Abscheidung von Wafern bis zu einem Durchmesser von 210mm. Das praktische Probenladen-Tablett macht das Be- und Entladen der Wafer schnell und einfach. Darüber hinaus ermöglicht der Einsatz einer speziellen Abschirmtechnik, dass die Kammerwände kühl bleiben, während der Innenraum noch unter Hochvakuum gehalten wird. Diese Kühlmethode hilft, das Abscheiden von unerwünschten Folien oder Materialien an den Kammerwänden zu verhindern und kann zur Erhöhung der Prozesswiederholbarkeit beitragen. Die Kammer besteht aus Edelstahl und verwendet eine stark verwirrte Struktur zur gleichmäßigen Ionenbeschuss und/oder Plasmaerzeugung innerhalb der Kammer. Dieses verwirrte Design hilft auch, die Kammer während der Abscheidung sauber zu halten und hilft, die Folienverschmutzung durch zerstäubte Materialien zu minimieren. Zusätzlich ist die Einheit mit einem schwimmenden Substrathalter ausgebildet, der für eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung sorgt. Um eine programmierbare, wiederholbare und reproduzierbare Filmabscheidung zu ermöglichen, wird MCH-4500 mit einer Touchpad-bedienten Computersteuerungsmaschine geliefert. Die Software bietet verschiedene Betriebsarten, einschließlich fester Sputterstrom, abgeschiedener Dicke und Ätzrate. Damit ist ULVAC MCH-4500 eine gute Wahl für Anwendungen wie schnelles thermisches Glühen, optische Dünnschichtbeschichtungen und fortschrittliche Geräteherstellung. ULVAC-MCH-4500 bietet ein vielseitiges und leistungsstarkes Sputterwerkzeug, perfekt für eine Reihe von Dünnschichtabscheidungsprozessen. Seine Fähigkeit, Ziele präzise zu drehen, die Sputterleistung anzupassen, eine saubere Kammer zu erhalten und Parameter leicht zu programmieren, machen ULVAC MCH-4500 zu einer idealen Wahl für diejenigen, die nach leistungsstarken und wiederholbaren Dünnschichtabscheidungsfunktionen suchen.
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