Gebraucht ULVAC MLX-3000N #9053707 zu verkaufen

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ULVAC MLX-3000N
Verkauft
Hersteller
ULVAC
Modell
MLX-3000N
ID: 9053707
Sputtering systems.
ULVAC MLX-3000N ist eine Sputteranlage für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Dieses System ermöglicht die Abscheidung einer Vielzahl von Dünnschichtmaterialien, einschließlich Metallen, Isolatoren und Halbleitern. Es verwendet ULVAC proprietäre MGP-Technologie, die drei evakuierte Kammern umfasst - eine Zielkammer, eine Reaktionskammer und eine Beschichtungskammer - alle mit einer einzigen Pumpe verbunden. Dieser modulare Aufbau ermöglicht eine breite Palette von Substratgrößen, Formen und Konfigurationen. Die Zielkammer ist mit der von ULVAC patentierten Magnetronsputterquellentechnologie ausgestattet. Die neun großen Magnete an der Sputterquelle in Kombination mit einer Alkalihalogenid-Ionenquelle ermöglichen ein maximales Sputtern unter Nicht-Vakuum-Bedingungen mit nahezu unbegrenzter Quelllebensdauer. Das hochgleichmäßige ionisierte Plasma wird innerhalb der Targetkammer von der Ionenquelle erzeugt. Dies erhöht die Materialverwendungseffizienz und ermöglicht eine homogene Abscheidung im gesamten Substratbereich. Die Reaktionskammer ist eine Hochdruck-Reaktionskammer, mit der Gase wie Amine, Alkane oder Sauerstoff in den Sputterprozess eingebracht werden können. Es verfügt über erweiterte optische Überwachungsfunktionen, mit denen Forscher die Filmeigenschaften beim Sputtern beurteilen können. Schließlich ist die Beschichtungskammer der Ausgang MLX-3000N Einheit. Dabei wird die durch den Sputterprozess erzeugte Metallfolie, Beschichtung oder andere Nanostruktur auf die Substrate abgeschieden. Die hohe Materialdurchsatzfähigkeit der Systeme ermöglicht große Substratgrößen und hochpräzise Beschichtungsergebnisse. ULVAC MLX-3000N verwendet auch eine Reihe von Sensoren, um die Abscheideprozessbedingungen in Echtzeit zu überwachen. Zu diesen Sensoren gehören ein Manometer, ein Vakuumregler und ein Substrattemperaturmonitor. Diese Komponenten liefern Wissenschaftlern und Forschern detaillierte Feedback-Informationen und ermöglichen eine schnelle Prozessoptimierung. MLX-3000N ist eine fortschrittliche Sputtermaschine, die auf die Bedürfnisse von Forschern und Entwicklern zugeschnitten ist. Es bietet eine Reihe von Vorteilen wie hoher Durchsatz, großflächige Beschichtung und hochpräzise Abscheidung für eine Vielzahl von Materialien. Der modulare Aufbau und die fortschrittlichen Sensoren machen es zu einer idealen Wahl für die fortschrittliche Anwendungsentwicklung.
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