Gebraucht ULVAC MLX-3000N #9273662 zu verkaufen

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ULVAC MLX-3000N
Verkauft
Hersteller
ULVAC
Modell
MLX-3000N
ID: 9273662
Wafergröße: 5"
Sputtering system, 5" (3) Chambers.
ULVAC MLX-3000N ist eine Dual-Magnetron-Sputteranlage, die zur Dünnschichtabscheidung in der Halbleiter- und optoelektronischen Geräteherstellung verwendet wird. Es bietet ein schnelles, digital gesteuertes Hybridsputtersystem, das Metall-, Oxid-, Nitrid- und Legierungsfolien auf verschiedenen Substraten abscheiden kann. MLX-3000N ist mit zwei Zielquellen ausgestattet: einer hochmotorisierten DC-Magnetron-Sputterquelle und einer mittelmotorisierten HF-Sputterpistole. Jede Quelle kann unabhängig betrieben werden, was eine Vielzahl von Abscheidungsmethoden ermöglicht. Ein fortschrittlicher Foliendickenmonitor ist im Lieferumfang enthalten, der präzise Dickenmessungen während des Sputtervorgangs ermöglicht. Darüber hinaus verfügt ULVAC MLX-3000N über einen High-Speed-Wafer-Shuttle, der ein schnelles Be- und Entladen von bis zu 4 Wafern gleichzeitig ermöglicht. Das Gerät verfügt über eine hochflexible Quellkonfiguration, so dass verschiedene Zielmaterialien und Substratgrößen verwendet werden können. Die DC-Magnetronquelle bietet ausgezeichnete Abscheideraten und gute Filmqualität. Es ist mit einer Elektrodenversorgung ausgestattet, die eine hochpräzise Kontrolle der Filmabscheidung sowie eine präzise Steuerung der Sauerstoffrate in der Abscheidekammer ermöglicht. Zusätzlich ist die HF-Sputterpistole zur Abscheidung von kleinen und/oder dicken Folien ausgelegt. Neben der Filmabscheidung bietet MLX-3000N auch ein umfassendes Spektrum an Plasmaprozessen, darunter Ätz-, Verunreinigungsgetter-, Reinigungs-, Oberflächenpassivierungs- und andere Oberflächenbehandlungen. Die Maschine ist mit einer fortschrittlichen Ätzsteuerung ausgestattet, die ein qualitativ hochwertiges, präzises Ätzen aller Arten von Materialien ermöglicht. Darüber hinaus kann es für fotoinduzierte Prozesse wie die Herstellung von LED und OLED-Geräten verwendet werden. Gesamter ULVAC MLX-3000N ist ein rentables, schnelllaufendes Hybridspritzenwerkzeug, Ideal für Halbleiter und optoelectronics Gerätherstellung. Es bietet eine schnelle, vielseitige Abscheidung und ermöglicht Herstellern die Herstellung von Dünnschichtschichten mit optimaler Gleichmäßigkeit und Qualität. Darüber hinaus eignen sich die umfassenden Plasmabearbeitungskapazitäten für ein breites Anwendungsspektrum.
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