Gebraucht ULVAC SBH-2206 #9053709 zu verkaufen

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ULVAC SBH-2206
Verkauft
Hersteller
ULVAC
Modell
SBH-2206
ID: 9053709
Sputtering system.
ULVAC SBH-2206 ist eine ionenfokussierte Magnetron-Sputteranlage, die für die kontinuierliche Sputterabscheidung dünner Filme entwickelt wurde. Dieses System bietet ein plasmaunterstütztes physikalisches Aufdampfen (PVD) -Verfahren, das einen Ionenstrahl verwendet, um Materialien als Beschichtung auf einem Substrat zu fokussieren und zu orientieren. Das Verfahren erzeugt gleichmäßige Folien, die sehr langlebig und chemisch inert sind. SBH-2206 besteht aus einer hochdichten, aktiv gekühlten, permanent magnetronhaltigen Kathode, einer Fertigungskammer und einer Anordnung von Ionenquellen. Die Kammer enthält mehrere Substrathalter, um eine effiziente großflächige Abscheidung zu ermöglichen. Der Substrathalter enthält Heizungen und Kühlrippen, um eine gleichmäßige Substrattemperatur und gleichbleibende Filmqualität zu gewährleisten. Die Vakuumeinheit ist so konzipiert, dass sie einen Prozessdruck von weniger als 10-4 Pa aufrechterhält und eine stabile Zerstäubungsumgebung bietet. Die Maschine ist mit einem Magnetron ausgestattet, das einen starken Permanentmagneten enthält, der ein starkes Magnetfeld über die Oberfläche der Kathode und des Substrats erzeugt. Dieses Magnetfeld begrenzt und beschleunigt die energetisch geladenen gasförmigen Partikel, was zu einer effizienten Zerstäubung des Kathodenmaterials führt. ULVAC SBH-2206 verfügt über eine leistungsstarke Ionenquelle mit einstellbarer Spannung und Stromstärke, die die Abscheidung von hochwertigen dünnen Filmen ermöglicht. Das Werkzeug verfügt außerdem über ein Burst-Modus-Feature, um höhere Abscheideraten und eine erhöhte Filmgleichförmigkeit bereitzustellen. Diese Funktion verwendet kurze Betriebsbursts. während des Deaktivierens des Magnetrons liegt der Abscheidungsfortschritt im akzeptablen Bereich. Die Anlage eignet sich für eine Vielzahl von Materialien, wie Metalle, Oxide, Nitride und Kohlenstoff. Es kann auch verwendet werden, um Mehrschichtfolien mit hoher Genauigkeit und spannungsfreien Beschichtungen abzuscheiden. SBH-2206 ist ein zuverlässiges und vielseitiges Sputtermodell mit ausgezeichneter Folienqualität und gleichmäßiger Abscheidung über den Arbeitsbereich. Es kann verwendet werden, um dünne Filme für eine Vielzahl von Anwendungen zu produzieren, einschließlich Halbleiterbauelemente, Elektronik, Optik, Energiespeicher, Medizin und Luft- und Raumfahrt.
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