Gebraucht UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9214750 zu verkaufen

UNAXIS/BALZERS LLS 502 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage zum Abscheiden von dünnen Schichten auf Substraten. Es eignet sich für die industrielle Herstellung einer Vielzahl von Dünnschichtmaterialien und kann Filme von einem oder mehreren Targets abscheiden. Das System umfasst eine Sputterkammer mit einem Ultrahochvakuum von 2 x 10-6 mbar, einem Temperaturbereich von 150 ° C bis 350 ° C und einem maximalen Arbeitsabstand zwischen dem Plasma und dem Substrat von 360mm. Folien können direkt auf dem Substrat oder auf einem Zielfutter abgeschieden werden. Das Gerät umfasst auch eine automatisierte Mehrzonen-Prozesssteuerung mit manuellen und automatischen Ablagerungsrezepten. UNAXIS LLS 502 wird von einer Mittelfrequenzquelle mit einer maximalen Leistung von 6kW angetrieben, die eine stabile, gleichmäßige Abscheiderate liefert. Es enthält eine vollständige Evakuierungsmaschine einschließlich einer ölfreien mechanischen Trockenpumpe, eine Turbomolekularpumpe für die Vorevakuierung, vier Diffusionspumpen und einen Satz von Weinpumpenventilen. Die Steuerungssoftware gewährleistet eine präzise Prozesssteuerung einschließlich Kathodenvorspannung, Sputtergasdrücke und Temperatur. Es enthält auch einen Rezept-Editor für den Benutzer, um einen maßgeschneiderten Prozess mit korrekten Parametern zu konfigurieren. Um die Wiederholbarkeit zu gewährleisten, ist das Werkzeug mit einer automatischen Planaritätssteuerung ausgestattet. BALZERS LLS 502 kann für eine Vielzahl von Filmabscheidungstechniken wie PVD (Physical Vapor Deposition), Magnetronsputtern, Ionenstrahlabscheidung und reaktives Sputtern verwendet werden. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen wie Halbleiterbauelemente, mikroelektronische Bauelemente, dielektrische Schichten, Metallisierungsschichten, ITO-Schichten, mehrschichtige Stapelabscheidung, MEMS, dünne Schichten für Optik und Displays, Multi- Targets und Multimaterialsysteme sowie magneto-optische Dünnschichtherstellung. Das Modell ist für die zuverlässige und reproduzierbare Herstellung hochwertiger Dünnschichten ausgelegt, die für verschiedene Forschungs- und Industrieanwendungen geeignet sind. Es ist eine vielseitige Abscheidung Ausrüstung mit einer Reihe von Funktionen und ist perfekt für jede Art von Dünnschicht Abscheidungsprozess.