Gebraucht UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167778 zu verkaufen

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ID: 9167778
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1999
Sputtering system, 5" (3) Targets: NiCr, NiFe, CoNiFe Currently warehoused 1999 vintage.
UNAXIS/BALZERS LLS EVO ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung für die Abscheidung von dünnen Filmen. Speziell bietet es erweiterte Abscheidungsmöglichkeiten für verschiedene Arten von Metallfolien, einschließlich Aluminium, Chrom, Kupfer und Titan. UNAXIS LLS EVO ist ein modulares System, das auf die individuellen Bedürfnisse seiner Anwender zugeschnitten werden kann. Es basiert auf einer linearen Magnetronquelle und umfasst eine einzigartige in-situ Plasmaüberwachung und Plasmakontrolle. Das Gerät ist mit einer Vakuumkammer ausgestattet, die einen Basisdruck unter 8 x 10-7 mbar tragen kann. Es ist auch mit einer Gasduschmaschine ausgestattet, die es dem Werkzeug ermöglicht, in reaktiven Gasumgebungen zu arbeiten. BALZERS LLS EVO ermöglicht die Fernbedienung des Gasdrucks, der Temperatur und des PL der Anlage, wodurch es in der Lage ist, sich auf verschiedenen Substraten abzuscheiden, einschließlich ITO, PEN und Silikon. Das Modell bietet auch eine Vielzahl von Kathodenquellen, darunter Multi-Element-Quellen wie Aluminium und Chrom, sowie monolithische Quellen wie Titan und Kupfer. LLS EVO verfügt über ein In-situ-Plasma-Überwachungsgerät, das Echtzeitinformationen für Abscheidungsparameter wie Substrattemperatur, Basisdruck, System TMS (Target Material Delivered) und Abscheiderate bereitstellt. Dadurch ist es möglich, den Abscheidevorgang gezielt zu optimieren. Das Gerät bietet zudem eine leistungsstarke und ergonomische Benutzeroberfläche mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche sowie Touchscreen-Funktionen. Dies ermöglicht es Benutzern, die Maschine fernzusteuern, um den Ablagerungsprozess effektiv zu verwalten. UNAXIS/BALZERS LLS EVO eignet sich für eine Vielzahl verschiedener Folienanwendungen, wie ITO, PEN und Silikon. Es bietet einen ausgezeichneten Basisdruck, der die Abscheidung ultradünner Filme erleichtert. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine fortschrittliche Kühltechnologie, die die Aufrechterhaltung einer optimalen Substrattemperatur unterstützt. Das Asset bietet zudem eine hohe Prozesskontrolle, die es Anwendern ermöglicht, den Ablagerungsprozess effektiv zu verwalten. Insgesamt ist UNAXIS LLS EVO ein hervorragendes Sputtermodell für die Abscheidung von dünnen Filmen.
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