Gebraucht UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167779 zu verkaufen

UNAXIS/BALZERS LLS EVO ist ein Hybrid-Sputtergerät, gekennzeichnet durch eine nicht-induktiv gekoppelte lineare Magnetronanordnung zur Herstellung dünner Filme, die die Vorteile hoher DC vereint und niederfrequente Wechselsputtertechniken. Das System bietet auch messtechnische Messungen in situ, um die Qualität der Abscheidung zu beurteilen. Die Einheit verfügt über zwei Hauptkomponenten, eine große lineare Magnetron-Einheit und eine kleinere lineare Magnetron-Stromversorgung. Die lineare Magnetron-Stromversorgung ermöglicht die Erzeugung eines sehr homogenen und gleichmäßigen Gleichstroms Sputterfeld innerhalb der Magnetronkammer. Zusätzlich wird eine hohe Macht niedrige Frequenz a.c. Puls in die Stromversorgung eingespritzt, um zunehmende Ionisation und Materialbeweglichkeit im Plasma zu fördern. Diese Anordnung ermöglicht höhere Abscheideraten unter Beibehaltung guter Homogenität und Gleichmäßigkeit. Die lineare Magnetroneinheit ist mit 6 Sputterquellen mit jeweils variabler Eingangsleistung sowie 4 rotierenden Inline-Targets ausgestattet. Die Maschine ist mit Freiräumen zwischen den Zielen ausgelegt, um Filmzielwechsel zu erleichtern. Darüber hinaus ist die Magnetronkammer aus Edelstahl aufgebaut, um eine zuverlässige Vakuumumgebung zu gewährleisten. Zusätzlich ist die lineare Magnetron-Arbeitskammer mit zusätzlichen Anschlüssen verbunden, um in situ optische Überwachungsfunktionen zu ermöglichen. UNAXIS LLS EVO wurde entwickelt, um höchste Gleichmäßigkeit über große Substrate zu gewährleisten und Partikel- und Schmutzprobleme während des Abscheidungsprozesses zu minimieren. Seine effizienten Betriebsbedingungen verbessern das Ätz-/Abscheideverhältnis für eine bessere Prozessausbeute. Das Tool ist auch mit fortschrittlicher Überwachung der Bordprozesssteuerung ausgestattet, die eine genaue Sputterleistung und eine zuverlässige Ablagerungsumgebung ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht das Asset eine aufwendige Analyse und Optimierung von Technologien wie Oxidglühen und Abscheidungszyklen. Insgesamt bietet BALZERS LLS EVO Sputtermodell eine leistungsstarke, zuverlässige und effiziente Lösung für Dünnschichtabscheidung und Optoelektronik.