Gebraucht UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9237904 zu verkaufen

UNAXIS/BALZERS LLS EVO ist eine Sputteranlage für Industrie-, Forschungs- und Entwicklungseinstellungen. Das System ist für eine zuverlässige, volumenstarke Sputterabscheidung mit fortschrittlichem Lasthandling und integrierter Prozessautomatisierung für Anwendungen mit hohem Durchsatz ausgelegt. Diese Einheit ist in der Lage, sowohl großflächige Substrate im Produktionsmodus als auch kleine Proben für F & E-Anwendungen zu beschichten. Es kann bis zu sechzehn unabhängige Einzelprozesskammern umfassen und ermöglicht schnelle und wiederholbare Prozesse bei hohen Abscheideraten und niedrigem thermischen Budget. Die Sputtermaschine verfügt über UNAXIS Low Load Sputtering (LLS), eine einzigartige Sputtertechnologie, die eine stabile und gleichmäßige Beschichtung auf flachen Oberflächen und tiefen Hohlräumen bietet. Um hohe Abscheidungsraten zu erhalten, hält die LLS-Technologie den Abscheidungsbereich abgedeckt und ständig in Bewegung und ermöglicht eine gleichmäßigere und höhere Abscheidungsrate gegenüber herkömmlichen Sputtertechniken. Die LLS-Technologie trägt auch dazu bei, ein geringeres thermisches Budget während des Sputterprozesses zu gewährleisten und somit empfindliche Substrate zu schützen. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine hochmoderne integrierte Prozessautomatisierung zur vollständigen Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit. Dazu gehören programmierbare Zielverfolgung, Laden und Entladen von Programmen, Prozessrezepte und Protokollierung der Prozesshistorie. Darüber hinaus ermöglicht das innovative Lasthandling des Asset die gleichzeitige Beladung von bis zu zwölf Racks sowie das automatisierte Palettenstapeln, um Ihren Produktionsprozess weiter zu optimieren. Darüber hinaus ist das Modell auch mit einem umweltfreundlichen Design ausgestattet. Alle Komponenten wie Pumpen, Auspuffanlagen, Tanks und Filter sind auf hohe Leistung und Energieeffizienz ausgelegt. Das Gerät verfügt über geringe Geräuschpegel für eine angenehmere Arbeitsumgebung, so dass es eine ideale Wahl für Anwendungen mit hohem Sputtervolumen ist. Insgesamt ist das UNAXIS LLS EVO Sputtersystem eine vielseitige, zuverlässige und effiziente Einheit für die Sputterbeschichtung, die eine schlanke Lösung für großvolumige Anwendungen bietet. Die fortschrittliche Automatisierung, die integrierte Prozesssteuerung und das geringe thermische Budget machen es ideal für die Beschichtung von großflächigen Substraten und empfindlichen Substraten für Forschung und Entwicklung.