Gebraucht UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9254147 zu verkaufen

UNAXIS/BALZERS LLS EVO ist eine Vakuumsputteranlage, die in Forschung und Produktion weit verbreitet ist. Es ist ein robustes, zuverlässiges und einfach zu bedienendes Werkzeug, das in verschiedenen Sputterverfahren wie Ionenstrahlsputtern (IBS) oder Magnetronsputtern (MS) eingesetzt werden kann. UNAXIS LLS EVO ist ein Multi-Substrat-Sputterwerkzeug, das eine Vielzahl von Probenverarbeitungsfunktionen bietet. Es ist mit zwei Hochvakuumkammern und einem vielseitigen Kathodendesign ausgestattet, das sowohl das Sputtern von Standard- als auch großformatigen Substraten mit niedrigem Arbeitszyklus ermöglicht. Die Kammern haben einen Arbeitsdruckbereich von 10-6 mbar und können zum Edelmetall- oder Isolatorsputtern verwendet werden. Die Kammern verfügen über eine hochwertige Membranpumpe, die es Anwendern ermöglicht, ihre Wartungskosten zu reduzieren. BALZERS LLS EVO ist ein in sich geschlossenes System, das einen Be- und Entladeroboter, ein Substratdock, einen Prozessregler und einen hochpräzisen Linearmotor umfasst. Der Roboter bietet eine schnelle Bewegung und präzise Positionierung von Substraten, während das Dock eine bequeme Lagerung mehrerer Substrate ermöglicht. Der Prozesscontroller stellt sicher, dass alle Sputterparameter richtig eingestellt sind und bietet Anwendern eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche. Der Linearmotor sorgt dafür, dass sich die Substrate mit der richtigen Geschwindigkeit bewegen, um die gewünschte Abscheidungsdicke zu gewährleisten. LLS EVO verwendet eine gleichmäßige Gasströmungseinheit, um sicherzustellen, dass eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Substrat erreicht wird. Die Maschine verfügt auch über fortschrittliche Prozessüberwachungstechnologie, die es Anwendern ermöglicht, den Abscheidungsprozess in Echtzeit zu beobachten. Darüber hinaus verfügt das Tool über automatisierte Rezepte für verschiedene Sputterprozesse sowie die Möglichkeit, individuelle Einstellungen und Rezepte zu speichern. UNAXIS/BALZERS LLS EVO ist aufgrund seines vielseitigen Designs und seiner breiten Palette von Prozessen sowohl in der Forschung als auch in der Produktion weit verbreitet. Es eignet sich für eine Vielzahl von Substraten von kleinen Wafern bis hin zu großen rechteckigen und gekrümmten Substraten. Die Anlage kann auch zur Herstellung von Folien, Beschichtungen und dünnen Filmen aus verschiedenen Materialien wie Gold, Aluminium und Titan verwendet werden. Abschließend ist UNAXIS LLS EVO ein zuverlässiges und robustes Sputtermodell, das in einer Vielzahl von Sputterprozessen eingesetzt werden kann. Es bietet eine breite Palette von Fähigkeiten und ist für eine Vielzahl von Substraten geeignet. Mit seiner fortschrittlichen Prozessüberwachungstechnologie und dem eigenständigen Design ist es eine ausgezeichnete Option für Forschungs- und Produktionsanwendungen.