Gebraucht UNAXIS Clusterline 200 #9273683 zu verkaufen

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UNAXIS Clusterline 200
Verkauft
ID: 9273683
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2006
Sputtering system, 4" Chamber included 2006 vintage.
UNAXIS Clusterline 200 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung, die Anwendern eine vielseitige Plattform für die Beschichtung vieler Arten von Materialien bietet. Das System ist mit zwei unabhängigen 150 mm Cluster-Kassetten ausgestattet, die das Abscheiden verschiedener Materialien gleichzeitig oder auf separaten Substraten ohne zusätzliche Umrüstung ermöglichen. Darüber hinaus ermöglicht die 300 mm x 300 mm Belastungssperre des Geräts Sputterprozesse mit hohem Durchsatz. Clusterline 200 ist aufgrund seiner hohen Abscheideraten und kurzen Zykluszeiten eine ausgezeichnete Wahl für viele Dünnschichtanwendungen. Das Gerät ist mit einem leistungsstarken magnetronbasierten Netzteil ausgestattet, das bis zu 8 kW maximale Leistung erzeugen kann. Diese Leistung kann für die Sputterabscheidung präzise und präzise gesteuert werden, was homogene Beschichtungsergebnisse ermöglicht. Darüber hinaus sind die beiden Kassetten mit einzigartigen Planer-Typ lineare Magnet-Design, das Magnetfeld für Gleichmäßigkeit und radiale Gleichmäßigkeit der Abscheidung diffundiert ausgestattet. Für flexible Ablagerungen ist die Maschine mit einer modularen Prozesskammer ausgestattet, die bis zu vier Sputterquellen gleichzeitig aufnehmen kann. Dieses Design ermöglicht es Anwendern, innerhalb einer einzigen Anwendung zwischen Metallen, Keramik und Verbundmaterialien zu wechseln. Das fortschrittliche Schilddesign des Geräts und gepulste DCMAG-Lasten steuern die Sputterdichte und minimieren die Ladung. Das Gerät bietet auch ein fortschrittliches Kühlwerkzeug für Hochleistungssputterprozesse. Diese Kühlung umfasst zwei unabhängige Umwälzpumpen, die ein effizientes thermisches Management und eine überlegene Temperatur und Gleichmäßigkeit im gesamten Modell bieten. Darüber hinaus erhöhen die mehrzonigen endverschiebbaren Netzteile der Einheit die Sputtergleichförmigkeit, indem sie für jede Quelle eine unabhängige einstellbare Spannung bereitstellen. Schließlich bietet UNAXIS Clusterline 200 ein fortschrittliches Sicherheitsdesign, einschließlich abgeschirmter Fenster, integrierter Interlocks und benutzerdefinierter Fehlererkennung und -berichterstattung. Diese Sicherheitsmerkmale gewährleisten die Zuverlässigkeit der Ausrüstung und die Wartung des sicheren Betriebs. Zusammenfassend bietet Clusterline 200 ein leistungsstarkes, aber vielseitiges Sputtersystem, das sich ideal für Sputteranwendungen eignet, die schnelle Abscheidezeiten und eine überlegene Beschichtungsqualität erfordern. Das Gerät bietet eine fortschrittliche Kühlmaschine für Hochleistungs-Sputtern, erweiterte Abschirmung und Magnet-Design, und eine leistungsstarke Magnetron-basierte Stromversorgung für präzise Leistungssteuerung. Mit seiner kompakten Größe und der flexiblen Prozesskammer können Anwender homogene Beschichtungsergebnisse auf vielen verschiedenen Arten von Materialien in einer einzigen Anwendung erzielen.
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