Gebraucht VARIAN 3120 #9258459 zu verkaufen

VARIAN 3120 ist ein DC-Magnetron-Sputtergerät, das zur Abscheidung von Schichten aus Metallen, Dielektrika und Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Das Sputtersystem umfasst eine Vakuumkammer, eine End-Hall-Magnetronquelle, zwei Hochwasserkanonenquellen, drei Gasmischer und einen Target-Inflator zur Regelung der Substrattemperatur. Die Vakuumkammer besteht aus Edelstahl und hat eine Abmessung von 600mm im Durchmesser und 800mm hoch. Sie weist eine Absperrventilanordnung auf und weist ein Fenster zur Substratbeobachtung auf. Es verfügt über zwei Pumpen, eine Turbomolekularpumpe und eine mechanische Pumpe, um eine Hochvakuumatmosphäre zu schaffen. Die Turbomolekularpumpe liefert einen anhaltenden Druck von 2x10 ^ -5 Pa, während die mechanische Pumpe einen Basisdruck von 3x 10 ^ -7 Pa. liefert. Der Zielpumpe wird verwendet, um Substrattemperaturen zu regulieren, so dass der Benutzer eine Substrattemperatur zwischen 0 und 200 ° C einstellen kann. Es verwendet eine Präzisionsheizung, einen eingebetteten Temperatursensor und eine Temperaturregeleinheit. Mit der Magnetronquelle end-Hall wird Filmmaterial auf ein Substrat gesputtert. Es hat ein Wechselrichter-gekoppeltes Design, das eine optimierte Stromversorgung für einen stabilen Sputterprozess mit höchster Auflösung ermöglicht. Das Endmagnetron Hall ermöglicht eine variable Leistung bis 2.500 Watt und arbeitet bei einem Sputterdruck von 2x10 ^ -2 mbar. Zwei E-Strahl-Flutpistolen sind für das Metallsputtern und Abscheiden vorgesehen. Sie sind elektronisch gesteuert und verwenden Wolframfaden als Ausgangsmaterial. Das Filament kann bis zu 8.000 Volt Leistung liefern und ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von dicken Schichten aus Metall und dielektrischem Material. Die drei mit der Maschine versehenen Gasmischer ermöglichen eine kontinuierliche Gaszufuhr für reaktive Sputterprozesse. Die Gasmischer sind in der Lage, die Kammer mit Argon, Sauerstoff und Stickstoff zu versorgen. Dadurch kann der Benutzer eine Vielzahl verschiedener reaktiver Sputterumgebungen erstellen. 3120 Sputterwerkzeug bietet dem Anwender ein zuverlässiges und präzises Werkzeug für Metall- und dielektrische Abscheidungsprozesse. Es ist einfach zu bedienen, so dass Benutzer Prozesse schnell einrichten und anpassen können. Die Anlage nutzt fortschrittliche Technologie, um eine konsistente, leistungsstarke Abscheidung in Reinraumqualität zu ermöglichen.