Gebraucht VARIAN 3180 #9019175 zu verkaufen

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Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 9019175
Wafergröße: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3180 ist eine leistungsstarke Sputterbeschichtungsanlage mit einer Vielzahl von zusätzlichen Funktionen und Funktionen. Es ist ein vielseitiges Werkzeug, das verwendet werden kann, um eine breite Palette von Materialien abzulegen, um dünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. 3180 wurde entwickelt, um höchste Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit in Sputterprozessen zu gewährleisten. Das System ist mit einer Elektronenstrahlkanone ausgestattet, die die Abscheidungsraten erhöht und schnellere Bearbeitungszeiten ermöglicht. Die Elektronenstrahlkanone kann auch die Gleichmäßigkeit der zu erzeugenden Schicht verbessern. Darüber hinaus ist die Einheit anpassbar ausgebildet und kann eine Reihe von Prozessparametern aufnehmen. So können Anwender Parameter für komplexere Dünnschichtstrukturen schnell und einfach variieren. VARIAN 3180 kann zum Sputtern von Metallen und Oxiden verwendet werden, wodurch mehrschichtige Folien erzeugt werden können. Die Maschine kann Wafer von 4 "- 6" in der Größe verarbeiten und kann bis zu 4 "dicke Hybrid- und verstärkte Glassubstrate handhaben. Darüber hinaus kann das Werkzeug Abscheideraten von bis zu 0,15 - 0,25 µm/min erreichen. 3180 ist leicht einstellbar, so dass Benutzer Parameter wie Sputtergasdruck, Temperatur und Strom ändern können. Es ist auch mit einer Vielzahl von Prozesskammern ausgestattet, einschließlich physikalischer Dampfabscheidung, hohem Verarbeitungsdruck, Multi-Target und Richtungssputtern. Diese Eigenschaften ermöglichen eine individuelle Anpassung an eine Vielzahl von Dünnschichtanforderungen. Das Modell verfügt auch über eine Reihe von Automatisierungsfunktionen, wie automatisierte Endpunkterkennung und Rezeptsteuerung. So können Anwender schnell und einfach komplexe Abscheideprozesse programmieren. Darüber hinaus ist das Gerät mit In-situ-Reinigung und anderen Diagnosefunktionen ausgestattet, die dazu beitragen, die Prozessqualität zu verbessern und kostspielige Ausfallzeiten für Reparaturen zu vermeiden. Insgesamt ist VARIAN 3180 dank seiner Flexibilität, Geschwindigkeit und Genauigkeit eine ausgezeichnete Wahl für Sputterbeschichtungsanwendungen. Es ist nützlich für eine breite Palette von Prozessen, und seine Automatisierungsfunktionen ermöglichen es Anwendern, schnell und einfach hochwertige dünne Filme zu produzieren.
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