Gebraucht VARIAN 3190 #42672 zu verkaufen

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Hersteller
VARIAN
Modell
3190
ID: 42672
Wafergröße: 4"
Sputtering systems, 4" (3) AE MDX P/S Digital meter (2) MQ Target: AL 3" Gun for Au FLUKE 1722A with SD mod (2) Gas systems Recipe heater.
VARIAN 3190 Sputterausrüstung ist ein fortschrittliches, leistungsfähiges physikalisches Dampfabscheidungssystem (PVD), das für Forschung und industrielle Anwendungen entwickelt wurde. Mit einer maximalen Prozesstemperatur von 1400 ° C und einem Bereich von Prozessdrücken von 10 ^ -2 bis 10 ^ -7 Torr kann diese sehr vielseitige und zuverlässige Einheit eine Vielzahl von Beschichtungsprozessen und Dünnschichtabscheidungsanwendungen optimal durchführen. Die Maschine besteht aus zwei miteinander verbundenen Kammern, wobei die obere Kammer die Sputterzielanordnung und die untere die Substrate enthaltende Vakuumkammer aufnimmt. Die Sputterzielbaugruppe kann bis zu drei unabhängige Zielquellen aufnehmen, die entweder mit einer HF- oder DC-Sputterquelle konfiguriert sind. Darüber hinaus können die Targets an das gewünschte Beschichtungsmaterial angepasst werden, was die Abscheidung von Metallen, Legierungen, Oxiden und Dielektrika ermöglicht. 3190 verwendet eine fortschrittliche Substrat-Bias-Steuerungstechnologie, die eine präzise Steuerung des Substratpotentials und eine präzise Gleichmäßigkeit ermöglicht. Diese Technologie ermöglicht auch eine unabhängige Steuerung der Sputterabscheidungsparameter für jedes Ziel, wodurch die Gleichmäßigkeit des fertigen Produkts weiter erhöht wird. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine fortschrittliche Mehrzonen-Heiz- und Kühlplattform, die eine präzise Temperaturregelung von bis zu fünf Verbrennungszonen ermöglicht und eine überlegene Qualität und Wiederholbarkeit der Abscheidungsergebnisse gewährleistet. In Kombination mit der VARIAN webbasierten Optima Softwareplattform bietet VARIAN 3190 eine vollständige Kontrolle über den Sputter-Abscheidungsprozess und ermöglicht so eine signifikante Optimierung des Endergebnisses. Diese intuitive Oberfläche ermöglicht auch eine vollständige Überwachung von Prozessparametern, die eine präzise Prozessdiagnose und Fehlerbehebung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Asset auch über ein erweitertes Tool zur Prozessdiagnose, mit dem Sie Probleme leicht erkennen und Korrekturmaßnahmen in Echtzeit durchführen können. Kurz gesagt, 3190 ist ein leistungsstarkes und intuitives PVD-Modell mit hochmodernen Funktionen zur Optimierung von Dünnschichtabscheidungsprozessen. Die Geräte bieten eine beispiellose Prozesssteuerung und präzise Substratgleichförmigkeit und sind somit eine ideale Plattform für eine Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen.
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