Gebraucht VARIAN 3190 #9184622 zu verkaufen

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VARIAN 3190
Verkauft
Hersteller
VARIAN
Modell
3190
ID: 9184622
Wafergröße: 5"
Sputtering system, 5" Module: Metal Process: Metal deposition Front-metal (RF +Ti +NiV +Au).
VARIAN 3190 ist eine hochpräzise Sputteranlage, die für die Abscheidung von ultradünnen Filmschichten auf einem breiten Spektrum von Substraten konzipiert ist. Es wird hauptsächlich für die Herstellung von optoelektronischen Bauelementen wie Halbleiterchips, Flachbildschirmen und Solarzellen verwendet. Das Sputtersystem arbeitet mit einem Verfahren mit einer Magnetronkathode, die auf der Oberseite der Vakuumkammer montiert ist. Diese Magnetronkathode wird durch eine Wechselstrom (AC) -Stromversorgung versorgt und beschießt ein Zielmaterial mit energetischen Ionen. Diese Beschießung bewirkt, daß das Zielmaterial sputtert und positiv geladene Ionen ausstößt, die dann auf das in der Vakuumkammer angeordnete Substrat angezogen werden. Diese Ionen scheiden sich unter Bildung einer Dünnschichtschicht auf dem Substrat ab. 3190 bietet viele Funktionen, die es ideal für Dünnschichtabscheidung machen. Die elektronische Steuereinheit ermöglicht eine präzise Programmierung der Sputterparameter wie Leistung, Tastverhältnis, Abscheiderate und Druck. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen hochpräzisen Verschlussmechanismus zum präzisen Schließen und Öffnen der Vakuumkammer. Dieses Merkmal ist wichtig für die gleichmäßige und gleichmäßige Abscheidung der Dünnschichtschichten. VARIAN 3190 bietet eine Vielzahl von Sputterkonfigurationen, die es dem Benutzer ermöglichen, verschiedene Arten von Substraten und Zielmaterialien in den Abscheidungsprozess einzubinden. Das Werkzeug kann mit einer einzigen Magnetronkathode konfiguriert werden, oder es können mehrere Magnetrons in einer gestapelten Konfiguration verwendet werden. Der Sputterprozess kann durch die Zugabe eines externen Magnetfeldes weiter verbessert werden, wodurch der Benutzer die Richtung der gesputterten Ionen anpassen kann, um gleichmäßigere Filme mit weniger Defekten zu erzeugen. 3190 Asset ist ein zuverlässiges und benutzerfreundliches Sputtermodell. Es ist einfach zu bedienen und bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit bei der Dünnschichtabscheidung. Es ist ideal für die Herstellung einer breiten Palette von optoelektronischen und anderen Geräten und ist in der Lage, Filme mit ausgezeichneter Stabilität und Leistung abzuscheiden.
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