Gebraucht VARIAN 3190 #9184623 zu verkaufen

VARIAN 3190 Sputtering Equipment ist ein Hochdurchsatz-PVD-System zur Herstellung von Oberflächenbeschichtungen und dünnen Filmen von gleichbleibend hoher Qualität und Qualität. Diese Einheit ist ideal für jede Anwendung, die eine präzise Oberflächenbehandlung erfordert. 3190 verwendet eine Zwei-Kammer, Dual-Source-Vakuum-Maschine. Die Prozesskammer wird üblicherweise auf einem Basisdruck von 10-6 mbar gehalten. Die Ablageseite des Werkzeugs besteht aus einem Lastschloß und der Sputterquellenkammer, die mit einer verschlussgesteuerten Widerstandsionenstrahlquelle (RIB) ausgestattet ist. Die RIB enthält eine gepulste DC-Magnetron-Sputterquelle und ermöglicht das Laden und Entladen von Modulen. Zusätzlich ist die VARIAN 3190 mit einer hochfrequenten niederenergetischen Ionenquelle zum reaktiven Ionenätzen (RIE) des abgeschiedenen Materials ausgestattet. Die Substrattemperatur in 3190 ° C ist von Raumtemperatur bis 500 ° C einstellbar. Es verfügt außerdem über eine vakuumgesteuerte Gaseinspritzeinrichtung zum gasdynamischen Ätzen der Oberfläche, wodurch die Funktionsfähigkeit des Modells weiter verbessert wird. Die VARIAN 3190 ist nicht nur in der Lage, hochgleichmäßige Dünnschichten zu erzeugen, sondern ermöglicht durch ihren modularen Aufbau einen schnellen Materialwechsel. Dies ermöglicht präzise Wiederholbarkeit und optimierten Durchsatz auf kleiner Fläche. Zusätzlich ist 3190 mit einem In-situ-Massenspektrometer zur Endpunktdetektion ausgestattet, um sicherzustellen, dass abgeschiedene Schichten durch den Sputterprozess gleichbleibend hochwertig und konsistent sind. Abschließend ist VARIAN 3190 eine fortschrittliche PVD-Ausrüstung, die hochqualitative Oberflächen und Mikroschichten von Materialien herstellen kann. Das Gaseinspritzsystem, die RIE-Quelle und die In-situ-Endpunktdetektion tragen zu einer höheren Prozessstabilität und Wiederholbarkeit bei.