Gebraucht VARIAN 3280 #148076 zu verkaufen

VARIAN 3280 ist eine inhaltliche Gleichmäßigkeitssputteranlage, die für die Hochdurchsatz-Materialabscheidung und Geräteherstellung entwickelt wurde. Es ist eine Einkanoneneinheit mit einer einzigen Sputterkammer, die gleichmäßige Schichten aus Metall, Dielektrikum und anderen Materialien wie Oxiden, Nitriden und diamantähnlichen Verbindungen abscheiden kann. Es bietet eine maximale Sputterrate von 180 Å/Minute und ist in der Lage, hohe Abscheideraten von bis zu fünfmal höher als die anderer Sputtersysteme zu erzeugen. 3280 ist mit einem High-End Robostage Tilt-Rotation Manipulator ausgestattet, der präzise Ausrichtung und konsistente Folieneinheitlichkeit bietet. Diese Roboterstufe ermöglicht es den Benutzern, eine einheitliche Abdeckung über große Bereiche zu erhalten und gleichzeitig Gleichmäßigkeit in gemusterten Geräten zu gewährleisten. Das Neigungsrotationssystem kann einen maximalen Winkelbereich von ± 25 ° in der Steigung, ± 35 ° in der Rolle und 180 ° in der Gierfarbe bereitstellen, wodurch eine hohe Dynamik entlang der Y-Achse für eine effiziente Substratrotation ermöglicht wird. VARIAN 3280 verfügt über eine dynamische Hochgeschwindigkeits-Vakuumpumpe bestehend aus einer N2-Spülmaschine, einer Turbopumpe und einem Kryopanel-Kühlwerkzeug. Dies ermöglicht lange Zyklen und schnelle Pumpe nach unten, bietet einen ausgezeichneten Durchsatz. Darüber hinaus verfügt es über eine SPS-Anlage zur verbesserten Steuerung und Genauigkeit des Kammerdruck- und Gasflusses sowie eine PID-Rückkopplungsschleife zur präzisen Temperaturregelung mit Temperatureinstellungen. Das Modell ist in der Lage, bei Betriebsdrücken im Bereich von 10-1 bis 10 mTorr und einer typischen Sputterrate von 15-20 Å/Minute zu sputtern. 3280 bietet eine breite Palette von Quellen, die verwendet werden können, um Materialschichten einschließlich Standard-Zielmaterialien wie Aluminium und Titan, zusammen mit Materialien, die spezifischer für Nitride und Oxide, wie Titannitrid und Aluminiumdioxid. Dies ermöglicht es Benutzern, gleichmäßige Schichten in Zusammensetzung, Morphologie und Dicke über das gesamte Substrat abzulegen, ohne mehrere Maskierungen oder Schattenmasken zu benötigen. Schließlich verfügt VARIAN 3280 über ein verbessertes Modul für eine verbesserte Produktivität, das das Niveau des zerstäubten Materials und die Menge des Materials auf dem Substrat erfassen kann, so dass ein wiederholtes Zerstäuben möglich ist. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein softwarebasiertes Fernüberwachungssystem und erweiterte Parametereinstellungen, die eine Optimierung des Abscheidungsprozesses und eine verbesserte Produktionseffizienz ermöglichen.