Gebraucht VARIAN 3290 STQ #9255762 zu verkaufen

VARIAN 3290 STQ ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung, die für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist ein Co-Sputterwerkzeug mit hohem Durchsatz, das in der Lage ist, hochwertige, gleichmäßige Dünnschichtschichten mit hohen Geschwindigkeiten abzuscheiden. Das System ermöglicht mehrere Zielkonfigurationen in Verbindung mit mehreren, präzise gesteuerten Sputterprozessen. Die Mehrfachzieleinheit sorgt dafür, dass sowohl die Schichtdicke als auch die Gleichmäßigkeit auf verschiedenen Substraten konstant sind. Die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Folien wird durch Steuerung der verschiedenen Abscheidungsparameter wie Prozessdruck, Abscheiderate, Zielvorspannung, Quell- und Substrattemperaturen, Target-zu-Substrat-Abstände und andere Parameter erreicht. Die überlegene Leistung von VARIAN 3290STQ ist auf die hocheffiziente Substratheizung zurückzuführen. Dies erleichtert eine hohe Gleichmäßigkeit der Schichtdicke und Zusammensetzung in jeder Substratgeometrie. Die robuste Maschine bietet auch einstellbare Sichtlinien- und Ziel-Substrat-Abstände sowie mehrere Prozessmodi wie PVD, Magnetron und E-Strahl-Sputtern. 3290 STQ ist auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche. Zu den Konstruktionsmerkmalen gehören automatisierte Druck- und Temperaturkontrolle, Rezept-Editierung in Echtzeit, Validierung von Mehrpunktquellen und Messwerte für den Live-Druck. Außerdem enthält das Tool ein Selbstdiagnose-Menü, das es den Betreibern ermöglicht, alle Asset-Probleme mit Leichtigkeit zu beheben. 3290STQ umfasst auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um die Sicherheit des Benutzers zu gewährleisten. Dazu gehören ein erweiterter Sicherheitszugang, ein Gasschließventil, ein doppeltes Rückschlagventil und eine automatische Türabschaltung. Darüber hinaus umfasst das Modell auch eine robuste Wasserausrüstung, um einen Schutz vor Prozessverschmutzung zu gewährleisten. Insgesamt ist VARIAN 3290 STQ ein Hochleistungs-Sputtersystem, das hochwertige, gleichmäßige Dünnschichtschichten bei hohen Abscheideraten abscheiden kann. Seine präzise gesteuerte Sensor- und Sicherheitsinfrastruktur macht es für eine breite Palette von Dünnschichtanwendungen geeignet.