Gebraucht VARIAN 3290 #151223 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 151223
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6"
Configuration:
Wafer size: 6"
Fluke Master controller
Analog heater controller (station 1/2/3/4)
MKS 250V argon controllers
Wafer process controller: Z80
Wafer loader controller: Z80
VARIAN vacuum controller
VARIAN 880 ion gauge controller
Cassette motor controller
RF matching network controller
CTI 8 cryopump and controller
CONMAG II deposition sources
RF10S generator
LEYBOLD / TRIVAC D65 rough pump
Can be demonstrated.
VARIAN 3290 Sputterausrüstung ist ein vielseitiges Abscheidungswerkzeug, das verwendet werden kann, um eine Vielzahl von dünnen Schichten auf Substraten abzuscheiden. Das System besteht aus einem Hauptgehäuse mit Vakuumpumpen, Reglern und Stromversorgungen sowie einer Reihe von Zielmaterialien und Zielen. 3290 verwendet eine robuste HF-Stromversorgung und DC-Vorspannung, um bis zu vier Magnete in der Vakuumkammer zu versorgen. Die Magnete werden verwendet, um das zerstäubte Material auf das Substrat zu beschränken, was eine gleichmäßige und wiederholbare Abscheidung ermöglicht. Darüber hinaus enthält VARIAN 3290 Einstellknöpfe zur Feinabstimmung des Magnetfeldes für verschiedene Materialien und Anwendungen. 3290 ist eine integrierte Sputtereinheit, da sie auch mit einem Quarzkristallmonitor zur Zweiwege-Rückkopplungssteuerung ausgestattet ist. Dieser Monitor misst die Dicke der abgeschiedenen Folie gegenüber der dem Target zugeführten Leistung, um eine genaue Dicke zu erhalten. Die Maschine verwendet auch eine Lastverriegelung, um die Werkzeugverschmutzung zu verringern, indem die Vakuumkammer sicher geöffnet und mit einem neuen Substrat nachgeladen werden kann. VARIAN 3290 hat die Fähigkeit, eine breite Palette von metallischen und keramischen Materialien auf verschiedene Substrate zu sputtern. Es kann auf flache und gebogene Substrate sputtern, mit einer Reihe von Zielmaterialien wie Aluminium, Titan, Gold und Silber. Die Anlage ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Argongasen zu verwenden, je nach Anwendung. Insgesamt ist 3290 Sputtermodell ein ideales Dünnschichtabscheidungswerkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ermöglicht ein präzises Filmwachstum ohne zusätzliche Komponenten, während das Mehrfachmagnetdesign eine gleichmäßige und wiederholbare Abscheidung ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät intuitiv und einfach zu bedienen, mit einfachen Bedienelementen und einstellbaren Magnetfeldern. Schließlich macht seine Fähigkeit, verschiedene Substrate, Argongase und Zielmaterialien zu verwenden, es für viele verschiedene Dünnschichtabscheidungszwecke geeignet.
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