Gebraucht VARIAN 3290 #9043983 zu verkaufen

VARIAN 3290 ist eine automatisierte Sputteranlage der VARIAN Technologies Inc. Es ist ein Hochdruck, Niedertemperatur-Beschichtungssystem für die genaue und effiziente Abscheidung von dünnen Filmen. Diese einzigartige Einheit ist in der Lage, hochwertige, wiederholbare schichtweise Folien mit präziser Zusammensetzung und gleichmäßiger Dicke herzustellen. Die Maschine besteht aus einem automatisierten Sputtertarget, Substratwafer-Handler, HF/DC-Stromversorgung, Vakuumwerkzeug und einer Gasplatte. Das Sputtertarget ist eine heteroepitaktische Struktur. Das Targetmaterial (üblicherweise Metalle, Halbleiter oder Supraleiter) wird in einer gut kontrollierten Umgebung mit sauberem Vakuum und hochreinem Trägergas auf das Substrat (meist ein Siliziumwafer) gesputtert. Sputtern ist ein fortgeschrittenes filmbildendes Abscheidungsverfahren, bei dem ein dünner Metallfilm durch Beschuss einer Zieloberfläche mit einem Strom von Hochgeschwindigkeits-Thermionpartikeln gebildet wird. Das RF/DC-Netzteil bietet hohe DC- und RF-Leistungen, kombiniert mit hervorragender Steuerung und Stabilität. Es ermöglicht eine präzise Steuerung der Substrattemperatur für die gleichmäßige Abscheidung von dünnen Schichten. Zum Einleiten und Steuern des Trägergases während des Sputtervorgangs ist eine Gasplatte mit der Anlage verbunden. 3290 Modell verfügt auch über eine Einrichtung zur Erzeugung einer Plasmaumgebung durch Einbringen von HF-Energie in die Abscheidekammer. Die typischen Betriebsparameter dieser Ausrüstung sind hohe Kammertemperatur bis 1000 ° C und Niederspannung bis 1000 Volt, was die Abscheidung von dicken Folien ermöglicht, aber eine präzise Steuerung der Dünnschichtabscheidung. Das Vakuumsystem der VARIAN 3290 besteht aus einer an eine Pumpe angeschlossenen Vakuumkammer. Der Druck in der Kammer wird auf ein Feuchtigkeitsniveau unter 10-4 gesteuert, um die Reinheit der Umgebung für eine gleichmäßige und qualitativ hochwertige Filmdicke zu erhalten. 3290 ist eine zuverlässige und effiziente Einheit zur Herstellung hochwertiger Dünnschichtschichten mit präziser Zusammensetzung und gleichmäßiger Abscheidungsdicke. Die automatisierte Sputterfunktion sorgt für konsistente Ergebnisse mit wiederholbarer Ausgabe und ist somit die ideale Wahl für eine Reihe von Dünnschichtanwendungen. Die fortschrittlichen Eigenschaften dieser Maschine macht dies zu einer ausgezeichneten Wahl für Forschung und industriellen Einsatz.