Gebraucht VARIAN 3290 #9240545 zu verkaufen

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VARIAN 3290
Verkauft
Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9240545
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" FLUKE 1722 Controller Station 1: Etch Station 2, 3, 4: TPI Target assy.
VARIAN 3290 ist ein Hochvakuum-Sputtergerät, das ein einzigartiges Kathodenbogenmagnetron zum Sputtern von Ablagerungsmaterialien auf Substraten oder Komponenten verwendet. Es ist ein vielseitiges Werkzeug zum Beschichten von Kleinteilen und zum Prototypen neuer Materialien oder Verfahren. Dieses Sputtersystem besteht aus mehreren isolierten Hochvakuumkammern und verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für eine einfache Bedienung. In der Primärkammer von 3290 wird das Gas durch eine mit einer Kryopumpe gekoppelte Turbomolekularpumpe evakuiert und die Kammer durch eine hocheffiziente Quarz-Halogen-Lampe erwärmt, um eine bessere Filmhaftung und gleichmäßige Abscheidung zu ermöglichen. Die Kammer weist außerdem ein rotierendes Quarzrohr auf, das eine schnelle Substratdrehung und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit ermöglicht. Das in dieser Einheit verwendete Kathodenbogenmagnetron erzeugt einen durch einen elektrischen Strom erzeugten Lichtbogen, der dann zum Sputtern von Zielmaterialien aus der Anode verwendet wird. Die fortschrittliche Magnetronsteuerung bietet vielseitige und präzise Leistung für optimale Folienqualität und Abscheiderate. Die Sekundärkammer enthält eine keramische Vakuumkammer, die für jeden Abscheidevorgang mit einem Substrat beaufschlagbar ist. Die Kammer besteht aus mehreren Schichten Vakuumisolierung, die extremen Temperaturen standhalten kann, ermöglicht eine mehrschichtige Abscheidung und präzises Ätzen auf dem Substrat. Darüber hinaus enthält es auch eine im Kammerboden angebrachte Spüle zum Sammeln und Entfernen von zerstäubtem Material. Eine automatisierte Steuerungsmaschine ermöglicht die Fernbedienung von VARIAN 3290 mit einer Vielzahl von Bedienungsoptionen, einschließlich werkzeugbreiter Einstellungen und Ablageparametern. Die Anlage verfügt auch über mehrere Vakuumventile und Faltenbälge, um den Druck in jeder Kammer zu halten. Außerdem weist 3290 ein Ionenbeschussmodell auf, das die Haftung von abgeschiedenen Schichten durch magnetische Beschleunigung der Ionen in der Niederdruckkammer optimiert und verhindert, dass sie mit dem Substrat in Kontakt kommen. Das Gerät ist auch mit einem optischen Messsystem ausgestattet, um die genaue Dicke der abgeschiedenen Schichten zu messen. Insgesamt ist die Sputtereinheit VARIAN 3290 eine ideale Wahl für die Beschichtung von Kleinteilen und die Entwicklung von Prototypen. Sein einzigartiges Kathodenbogenmagnetron, gekoppelt mit einer automatisierten Steuerungsmaschine, mehreren Vakuumkammern und Ventilen und einem vielseitigen Ionenbeschusswerkzeug, ermöglicht eine präzise Materialabscheidung mit ausgezeichneter Haftung und Gleichmäßigkeit.
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