Gebraucht VARIAN 3290 #9255392 zu verkaufen

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VARIAN 3290
Verkauft
Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9255392
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" Particle reduction CTI-8F Cryo pump Utility box Gen1 Power supply: 12 kW (3) TEL / TOKYO ELECTRON TP Guns RF Bias Compressor DC Bias with heater EUROTHERM Heater controller No VIPS.
VARIAN 3290 ist eine Sputteranlage, die hauptsächlich zur Herstellung von Mikroelektronik eingesetzt wird. Es ist ein kompaktes, integriertes System, das in der Lage ist, verschiedene Prozesse wie die Abscheidung von Tantalnitrid, Siliziumdioxid, Kupfer und Niedertemperatur-Polysilizium sowie Ätzprozesse wie positives und negatives RIE (Reactive Ion Etching) durchzuführen. 3290 hat mehrere Vorteile gegenüber anderen Sputtersystemen wie seine kleine, kompakte Größe und große Vakuumkammer. Es ist für eine Reihe von Substraten von einfachen 2 "x 2" bis zur Größe eines 6 "-Wafers ausgelegt. Die Eigenschaften von VARIAN 3290 bieten eine vielseitige Fähigkeit, verschiedene Sputteraufgaben auszuführen. Es hat die Fähigkeit, die Geschwindigkeit des Sputterprozesses an die Größe und Komplexität des Substrats anzupassen, das abgeschieden wird. Es hat auch eine Vielzahl von verschiedenen Sputterzielen zur Verfügung, so dass verschiedene Abscheidungsmaterialien und Ätzprozesse. Es gibt eine Auswahl an DC- oder RF (Radio Frequency) -Netzteilen, die entsprechend dem Sputtertyp arbeiten können. Diese Netzteile können auch programmiert werden, um die Spannung im Bereich von 0-5 kV für HF und 0-3kV für DC einzustellen, wodurch eine genaue Steuerung des Sputtervorgangs ermöglicht wird. 3290 kommt mit umfassenden Signalsteuerungen für den Prozess ausgestattet. Es verfügt über mehrere digitale Anzeigen, wie die Druckauslesung, Temperatur- und Spannungspegelanzeigen, die magnetische Druckinformation und die Kammertemperatur. Das Gerät verfügt auch über einen integrierten linearen Encoder, der die lineare Bewegung der Sputterziele überwacht. Es kann auch an einen Personal Computer zur Datenerfassung und -programmierung angeschlossen werden. Insgesamt ist VARIAN 3290 eine effiziente Maschine für Sputterbeschichtungen. Es ist ein ergonomisches Werkzeug, das viel weniger Platz im Vergleich zu anderen Sputtersystemen beansprucht. Seine Palette von einstellbaren Parametern kann verwendet werden, um konsistente und qualitativ hochwertige Sputterbeschichtungen zu erstellen. Darüber hinaus eignet sich 3290 für niedrige Temperaturen, miniaturisierte Elektronik und die Entwicklung fortschrittlicher Mikrosysteme. Mit seiner präzisen Schrittmotorsteuerung und der einfachen Bedienung ist VARIAN 3290 eine ideale kompakte Sputteranlage für Forschung und Produktion.
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