Gebraucht VARIAN / NOVELLUS M2i #9106398 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9106398
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6"
(1) Etch target
(4) Sputtering targets
A2- Etch w/ Comdel CPS1001 RF power supply
A3- Cobalt w/ Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW
A4 - Ti/TTN w/Varian Multi Range DC Power Supply 6-24kW
A5 - Al w/ Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW
A6 -Ti/TTN w/Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW
(4) CTI Cryogenics 9600 Compressors
Neslab Coolflow System IV 230V 3 phase
Infincon CIS TS100 RGA units on A2-A6 and transfer
Missing sputtering target assemblies
ACE Version
Quantum targets
Degas modules
1995 vintage.
VARIAN/NOVELLUS M2i ist eine High-End-Sputteranlage, die robuste Leistung für hochproduktive, dickschichtige Abscheidungsanwendungen bietet. VARIAN M2i ist in der Lage, eine Vielzahl von Filmen abzuscheiden, darunter Leiter, Dielektrika und Metalloxide. Es ist für die Serienproduktion konzipiert und seine niedrigen Betriebskosten machen es zu einer attraktiven Wahl für diejenigen, die Sputterfunktionen in ihrem Labor oder ihrer Produktionsanlage hinzufügen möchten. NOVELLUS M2i ist mit einem 2-Zoll-Magnetron-Sputtersystem ausgestattet, das sowohl flache als auch tiefe Ansätze für den Abscheidungsprozess ermöglicht. Es verfügt über eine einzige Quelleinheit mit zwei Ausgängen und bietet bis zu 6 kW Leistung für die Filmabscheidung. Die Quelle ist so konzipiert, dass sie eine konsistente Ablagerungsstufe bietet, auch wenn sich die Ablagerungsumgebung ändert. Die Maschine ist auch für hohe Abscheideraten entwickelt, die eine ungefähre 16-20 nm/min Rate. M2i ist in der Lage, dicke Folienschichten mit genauer Kontrolle über die Topographie, Abdeckung und Gleichmäßigkeit der Folien zu erzeugen. Es ist äußerst zuverlässig und die Software des Werkzeugs wurde entwickelt, um eine einfache Bedienung und Wartung zu ermöglichen. Das Asset kann sowohl manuell als auch automatisch betrieben werden und bietet dem Anwender ein hohes Maß an Flexibilität. Darüber hinaus ist VARIAN/NOVELLUS M2i mit einem Notgenerator ausgestattet, um Materialien vor unvorhergesehenen Ereignissen zu schützen. VARIAN M2i ist ein unschätzbares Werkzeug für diejenigen, die dicke Folienschichten mit zuverlässigen, wiederholbaren Ergebnissen produzieren möchten. Seine robuste Leistung in Kombination mit seinen niedrigen Betriebskosten machen NOVELLUS M2i zu einer unglaublich attraktiven Option für jedes Labor oder jede Produktionsstätte.
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