Gebraucht VARIAN / NOVELLUS M2i #9213819 zu verkaufen

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VARIAN / NOVELLUS M2i
Verkauft
ID: 9213819
Sputtering systems.
VARIAN/NOVELLUS M2i ist eine Sputteranlage für physikalische PVD-Prozesse. Es ist ein vielseitiges, kompaktes System, das eine Vielzahl von Sputterzielen und Abscheidungsquellen verwendet, um dünne Filme in einer Vielzahl von Anwendungen zu produzieren. Die Komponenten des Geräts sind darauf ausgelegt, den Abscheidungsdurchsatz, die Ausbeute und die Prozesskonsistenz zu maximieren. Es verfügt über zwei Zielbänke und eine Dual-Magnetron-Sputtermaschine, die eine gleichzeitige und sequentielle Sputterabscheidung ermöglicht. Das Werkzeug ist auf Flexibilität bei der Materialabscheidung ausgelegt, wobei eine Vielzahl von Zielmaterialien und Sputtermodi zur Verfügung stehen. Die Energiequelle des Vermögenswertes ist in der Lage, 25 + kW Leistung für die Sputterziele bereitzustellen, was eine hervorragende Prozesskontrolle ermöglicht. Der integrierte Regler hat einen einstellbaren Kammerdruck zur verbesserten Sputterabscheidung. Das patentierte Dual-Magnetron-Sputtermodell ermöglicht den Betrieb in Ion Assisted Deposition (IAD) und einer Vielzahl von kathodischen Sputtermodi. Das Gerät verfügt zudem über eine automatisierte Filmsteuerung und Prozessüberwachung. Dadurch wird sichergestellt, dass Prozesse auf minimale Defekte und Prozessabweichungen optimiert werden. Unter anderem ist eine Turbopumpe und ein rückführendes Kühlmittelsystem vorgesehen, das eine Verschmutzung der Kammer verhindert. VARIAN M2i ist eine ideale Lösung für Anwendungen mit hoher Abscheidungsrate. Prozesse lassen sich schnell und präzise umsetzen und das integrierte Heizelement ermöglicht die Niedertemperatur-Filmabscheidung. Es ist eine High-End-Einheit, die die besten PVD-technologischen Lösungen bietet.
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