Gebraucht VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #196006 zu verkaufen

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 Sputtersystem ist ein vielseitiges Werkzeug zur Dünnschichtabscheidung und Strukturierung. Dieses Tool bietet dem Anwender eine Vielzahl von Abscheidetechniken wie DC-Magnetron-Sputtern, HF-Magnetron-Sputtern und DC/RF in Kombination mit Ionenbeschuss. TEL MB2-730 verfügt über unabhängige Prozessmodule und eine Prozesskammer, die in der Lage ist, ein vollständiges Substrat 10 "in der Größe zu verarbeiten. Die Kammer ist mit maximal 4 Zielfunktionen mit jeweils eigenen unabhängigen Stromversorgungen ausgestattet. Bei DC-Magnetron-Sputterverfahren wird zur Erzeugung eines elektrischen Feldes zwischen Substrat und Target eine Gleichstromversorgung verwendet. Dies wird angewendet, um den Sputterprozess von Substratmaterial auf das Basismaterial zu initiieren. DC-Magnetron-Sputtern ermöglicht die Steuerung der Abscheiderate und Gleichmäßigkeit durch Einstellung von Strom und Spannung für jedes Ziel. HF-Magnetron-Sputtern verwendet eine HF-Stromversorgung, um ein elektrisches Feld zwischen dem Target und dem Substrat zu erzeugen. Dieses Verfahren wird normalerweise verwendet, um Material in Formen wie Linien, Gräben und Polygonen zu sputtern. Darüber hinaus kann damit auch schwer sputternde Materialien abgeschieden werden. VARIAN MB2-730 ist auch in der Lage, DC- und HF-Modi in einem einzigen Prozess zu kombinieren. Unter Verwendung dieses Verfahrens kann man Materialien mit einer hohen Abscheiderate abscheiden und dabei eine gleichmäßige Folienschicht mit einer Breite von 20 µm und einer Höhe von 1 µm erreichen. Darüber hinaus ermöglicht die Kombination von DC/RF mit Ionenbeschuss dem Werkzeug schnellere Prozesszeiten mit einer hochwertigen Folie. TOKYO ELECTRON MB2-730 verfügt auch über ein in-situ Reinigungsverfahren. Der automatisierte Reinigungsprozess verwendet Argongas, um die Kammer zu reinigen und das Ziel zu kühlen. Zur Temperaturregelung verwendet MB2-730 eine wassergekühlte Sekundärkammer. Dadurch wird das Ziel gekühlt, um Glüheffekte zu vermeiden, und somit kann die Vorrichtung Materialien mit geringer Diffusion und ausgezeichneter Haftung abscheiden. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 ist ein einfach zu bedienendes Werkzeug, das sich ideal für kleine und große Anwendungen eignet. Seine hohe Benutzerfreundlichkeit und zuverlässige Bedienung ermöglichen es dem Anwender, qualitativ hochwertige Ergebnisse effizient zu erzielen. Mit seiner Vielseitigkeit und Flexibilität ist TEL MB2-730 eines der beliebtesten Werkzeuge in der Dünnschichtabscheide- und Musterindustrie.