Gebraucht RORZE FORS-300 #9215992 zu verkaufen

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Hersteller
RORZE
Modell
FORS-300
ID: 9215992
Wafergröße: 8"-12"
Wafer sorter, 8"-12" (2) RAF-01013 Loadport EFEM Options: Single-arm, clean robot RR716L1523-3A6-001 RA410 Wafer aligner and orienter Alumina ceramic end effector, paddle-shaped: 2.3 mm Thick ADVANTECH PC With UNI-WIRE DI/O interface (2) Serial ports Ethernet interface and RS-232 communication to EFEM PC PATLITE SEFB-402D-RAGB Signal tower Ionizer Interior service lighting: 25 ft Candles per square foot (Minimum) Wafer presence detector: SUNX EX-13EA, Throughbeam, LED sensor (2) RORZE SEMI Loadports Throughput: > 150 Wafers per hours & Loadport cycle time with single-arm robot Reliability: MCBF >100,000 Cycles MTTR: 2 Hours (With spare parts) Mini-environment cleanliness: ISO Class 1 at 0.1 microns per ISO-14644-1 Wafer placement repeatability: +/-0.100mm in X & Y Direction, 3 sigma, +/-0.25° notch orientation, 3 sigma Safety devices and interlocks: EMO Switch Cover interlocks Utilities: Operating and storage ambient temperature: 20°C to 30°C (Non-condensing) Vacuum: -67 kPa to –93 kPa at 30 lpm System vacuum: –65kPa Connecter: ¼" Tube Pressurized air: 600kPa to 700kPa at 20 lpm Interface connections: LPU-1 COM: RS-232 Communication with left loadport LPU-2 COM: RS-232 Communication with right loadport HOST COM: RS-232 Communication with host EFEM PC IO LT TOWER: Full control of light tower Ethernet: Robot controller and EFEM PC VS 1: View screen VGA signal for control by host PC VS 2 EMO Out Keyboard Mouse PC VS Vacuum Sensor: Full control of protrusion sensor RS-232 Control of touch screen monitor PC Keyboard: PS/2 Keyboard connector to EFEM PC Compressor air Electrical power: 120V AC, ±10% at 23A (Maximum), 50/60Hz Power connector: Amphenol 97-3102A-20-3P.
RORZE FORS-300 ist ein hochpräziser Wafer-Handler für kleine und große Wafer bis 300mm Durchmesser. Es ist ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsindustrie, da es dem Bediener ermöglicht, empfindliche Bauteile mit höchster Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu handhaben. FORS-300 ist darauf ausgelegt, den Ertrag zu steigern und mit seinen variablen und schnellen Transportantrieben maximale Leistung zu bieten. Das Transportsystem verfügt über eine Doppelantriebseinheit und präzise Linearlager, die eine reibungslose und präzise Bewegung bieten, um Fehler zu reduzieren und den Durchsatz zu verbessern. Es verfügt über eine integrierte optische Maschine, die die Platzierung von Griffkomponenten mit einer Wiederholgenauigkeit von bis zu +/- 0,03 mm gewährleistet. Das Steuerungstool bietet Echtzeit-Überwachung und Feedback sowie Alarmfunktionen, um den Bediener bei Problemen zu warnen. RORZE FORS-300 ist mit seiner kompakten Größe und seinem geringen Gewicht auf Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Dank seiner Erweiterbarkeit und Skalierbarkeit ist es ideal für die Erhöhung der Produktionskapazität. Das Asset ist benutzerfreundlich, mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und Hochgeschwindigkeits-Bewegungssteuerung. Es verfügt auch über programmierbare Funktionen und anpassbare Einstellungen für optimierten Betrieb. Es kommt mit einer Vielzahl von peripheren Optionen wie ein Vision-Modell, Roboterarm und eine Laserausrüstung, so dass es in größere automatisierte Linien integriert werden. FORS-300 beinhaltet ein zuverlässiges und effizientes Stromsystem, das eine stabile Spannungs- und Frequenzregelung ermöglicht und den Stromverbrauch und den Geräuschpegel reduziert. Es kommt auch mit optionalen Kraft- und Drehmomentüberwachungssystemen, die genaue Messungen der physikalischen Kräfte auf das Bauteil während der Handhabung ermöglichen. Schließlich wird RORZE FORS-300 von einem Garantie- und technischen Support-Team unterstützt, das sich dafür einsetzt, die beste Leistung für Benutzer zu gewährleisten. Dieser Support ist für Installation, Betrieb, Fehlerbehebung, Wartung und andere Anforderungen verfügbar.
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