Gebraucht RORZE FORS-300 #9215992 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9215992
Wafergröße: 8"-12"
Wafer sorter, 8"-12"
(2) RAF-01013 Loadport EFEM
Options:
Single-arm, clean robot RR716L1523-3A6-001
RA410 Wafer aligner and orienter
Alumina ceramic end effector, paddle-shaped: 2.3 mm Thick
ADVANTECH PC With UNI-WIRE DI/O interface
(2) Serial ports
Ethernet interface and RS-232 communication to EFEM PC
PATLITE SEFB-402D-RAGB Signal tower
Ionizer
Interior service lighting: 25 ft Candles per square foot (Minimum)
Wafer presence detector: SUNX EX-13EA, Throughbeam, LED sensor
(2) RORZE SEMI Loadports
Throughput: > 150 Wafers per hours & Loadport cycle time with single-arm robot
Reliability: MCBF >100,000 Cycles
MTTR: 2 Hours (With spare parts)
Mini-environment cleanliness: ISO Class 1 at 0.1 microns per ISO-14644-1
Wafer placement repeatability:
+/-0.100mm in X & Y Direction, 3 sigma, +/-0.25° notch orientation, 3 sigma
Safety devices and interlocks:
EMO Switch
Cover interlocks
Utilities:
Operating and storage ambient temperature: 20°C to 30°C (Non-condensing)
Vacuum: -67 kPa to –93 kPa at 30 lpm
System vacuum: –65kPa
Connecter: ¼" Tube
Pressurized air: 600kPa to 700kPa at 20 lpm
Interface connections:
LPU-1 COM: RS-232 Communication with left loadport
LPU-2 COM: RS-232 Communication with right loadport
HOST COM: RS-232 Communication with host
EFEM PC IO
LT TOWER: Full control of light tower
Ethernet: Robot controller and EFEM PC
VS 1: View screen VGA signal for control by host PC
VS 2
EMO Out
Keyboard
Mouse
PC VS
Vacuum
Sensor: Full control of protrusion sensor
RS-232 Control of touch screen monitor
PC Keyboard: PS/2 Keyboard connector to EFEM PC
Compressor air
Electrical power: 120V AC, ±10% at 23A (Maximum), 50/60Hz
Power connector: Amphenol 97-3102A-20-3P.
RORZE FORS-300 ist ein hochpräziser Wafer-Handler für kleine und große Wafer bis 300mm Durchmesser. Es ist ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsindustrie, da es dem Bediener ermöglicht, empfindliche Bauteile mit höchster Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu handhaben. FORS-300 ist darauf ausgelegt, den Ertrag zu steigern und mit seinen variablen und schnellen Transportantrieben maximale Leistung zu bieten. Das Transportsystem verfügt über eine Doppelantriebseinheit und präzise Linearlager, die eine reibungslose und präzise Bewegung bieten, um Fehler zu reduzieren und den Durchsatz zu verbessern. Es verfügt über eine integrierte optische Maschine, die die Platzierung von Griffkomponenten mit einer Wiederholgenauigkeit von bis zu +/- 0,03 mm gewährleistet. Das Steuerungstool bietet Echtzeit-Überwachung und Feedback sowie Alarmfunktionen, um den Bediener bei Problemen zu warnen. RORZE FORS-300 ist mit seiner kompakten Größe und seinem geringen Gewicht auf Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Dank seiner Erweiterbarkeit und Skalierbarkeit ist es ideal für die Erhöhung der Produktionskapazität. Das Asset ist benutzerfreundlich, mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und Hochgeschwindigkeits-Bewegungssteuerung. Es verfügt auch über programmierbare Funktionen und anpassbare Einstellungen für optimierten Betrieb. Es kommt mit einer Vielzahl von peripheren Optionen wie ein Vision-Modell, Roboterarm und eine Laserausrüstung, so dass es in größere automatisierte Linien integriert werden. FORS-300 beinhaltet ein zuverlässiges und effizientes Stromsystem, das eine stabile Spannungs- und Frequenzregelung ermöglicht und den Stromverbrauch und den Geräuschpegel reduziert. Es kommt auch mit optionalen Kraft- und Drehmomentüberwachungssystemen, die genaue Messungen der physikalischen Kräfte auf das Bauteil während der Handhabung ermöglichen. Schließlich wird RORZE FORS-300 von einem Garantie- und technischen Support-Team unterstützt, das sich dafür einsetzt, die beste Leistung für Benutzer zu gewährleisten. Dieser Support ist für Installation, Betrieb, Fehlerbehebung, Wartung und andere Anforderungen verfügbar.
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